中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9412721 を販売中

ID: 9412721
Cluster system.
KARL SUSS/MICROTECガンマフォトレジスト装置は、正確な配置と正確な処理を必要とするアプリケーションに最適な、包括的で完全に自動化されたフォトリソグラフィックプラットフォームです。マイクロエレクトロニクスおよび半導体アプリケーションの高分解能ニーズに対応するために開発されたMICROTECガンマは、最高レベルの精度、品質、信頼性を提供するMICROTECの優れた機械シリーズの最初の製品です。マイクロエレクトロニクス業界で使用されているウェーハ、半導体材料、その他の基板上の高度な薄膜蒸着およびリソグラフィ用に設計されています。KARL SUSS Gammaには、スマートで使いやすいHuman Machine Interface (HMI)が搭載されています。レーザーガイドの精密ステッピングモータと空中変位測定システムは、露出の迅速かつ正確な位置決めを提供します。6インチまでの基板を加工でき、0。75 x 0。75 mmの最小露出面積で材料を正確に配置できます。ガンマは解像度を0。5段階まで提供しµm高度なアライメントユニットは高精度のアライメントと露出を提供し、最大0。05 µmの均一性を提供します。KARL SUSS/MICROTECガンマには、優れた品質と再現性を確保するための多くの機能が含まれています。マイクロプロセッサ制御のシングルステップ露出モードで、複数のロゴパターン露出機能とマスクセンタリング機能を備えています。さらに、リアルタイムフォーカスとタッチアライメントフィードバックマシンを備えており、精度を向上させます。MICROTECガンマは、高精度フォトリソグラフィープロセスへの適用に最適です。それは非常に安定した、信頼でき、有効、優秀な再現性、正確さおよび質を提供します。その高度な機能は、迅速かつ信頼性の高い処理を保証し、そのユーザーフレンドリーな設計は、迅速なセットアップと操作を可能にします。KARL SUSS Gammaは、最高レベルの品質と精度で複雑で要求の厳しい仕事を確実に達成することができます。
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