中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9384738 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマフォトレジスト装置は、高度な半導体基板の開発とエッチングのための高精度ソリューションです。これは、最新の化学増幅フォトレジスト（CAPR）を含む、あらゆるタイプのフォトレジストを確実かつ一貫して処理できるステッピングレベルのリソグラフィーシステムです。このユニットは、精密で信頼性の高いアライメント、ステージモーション、多層アライメント、ナノ加工機能を提供する高解像度エンコーダを備えたクロス6軸顕微鏡ステージを使用しています。このステッピングレベルの機械は1-500nmから及ぶ特徴をイメージすることができ、複数の高度のパターニングおよびエッチングの技術を支えます。MICROTECガンマは、壊れやすいIII-V材料をはじめとする様々な半導体基板の高精度フォトリソグラフィを可能にします。このツールには、フォトレジストパターンを素早く簡単に開発するための4ステップの「生産とリリース」機能が装備されています。その高度なXYステージと露出アセットは、忠実度の高い高密度パターンをプログラミングすることができます。また、短時間で高解像度スキャンを実現する機能や、下位機能の制御、精密なサーマルイメージング用途向けのランダムパターニングなど、幅広い機能を搭載しています。KARL SUSSガンマには、精密なアライメントとプロセス制御のための多くの機能が含まれています。この装置のコントローラは、信頼性の高い結果で最大16台の積層スタックを駆動することができます。また、2xから300xまでのさまざまな倍率オプションや、透明で不透明な材料を精密に検査するための強力な特殊光学システムも含まれています。さらに、自動相関技術とタイリング機能により、高精度のウェーハアライメントが可能になります。上記の高度な機能に加えて、ガンマフォトレジストユニットは優れた安全機能を提供します。8チャンネルのパターン検証システムを使用して、ショートパンツや傷から保護します。このツールの高度な空気ろ過アセットは、クリーンな作業環境を保証し、温度コントローラはプロセス条件と環境の両方を再現します。全体として、KARL SUSS/MICROTECガンマフォトレジストモデルは、半導体処理の強力なソリューションです。高精度な機能と高度な安全機構により、優れた再現性と再現性を備えたフォトレジストパターンを確実かつ正確に開発できます。もちろん、この機器はコストがかかりますが、深刻なリソグラフィが必要な人にとっては、投資する価値があるかもしれません。