中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9382257 を販売中
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ID: 9382257
ヴィンテージ: 2005
Developer fully automatic cluster system
With (2) Media boxes
Power supply: 400 V, 60 Hz, 640 A, 3-Phase
2005 vintage.
KARL SUSS/MICROTECガンマフォトレジスト装置は、平面マイクロエレクトロニクス回路およびデバイスのフォトレジスト処理および製造用に設計された自動機械です。ウエハーなどの基板にフォトレジスト素材を堆積させ、フォトレジストを光のパターンに露出させることで機能します。パターンはマシンによって読み取られ、パターン化されたウェーハを作成するためにフォトレジストを選択的にエッチングするために使用されます。機械は、基板の均一な回転と回転を可能にする回転、可変スピンチャックを備えています。6軸X-Y-Zモーションステージを備え、光学アライメント機能を備えています。ステージは、最大4インチ(10。16 cm)の直径のウェーハと基板を保持することができ、プリントベッドとの完璧なアライメントを保証する真空制御表面を備えています。基板の効率的かつ正確な露出のために、機械には精密アライメントシステムが装備されています。フォトレジストユニットは、剥離やスプレーコーティングなどのリフトオフ加工も可能です。リフトオフ処理は、ウェーハでフォトマスクを露出・加工し、洗浄して溶媒浴で処理します。これにより、リワークを排除し、効率的で高品質のデバイス製造を保証します。このマシンの高解像度の可能性と、最小のウェーハでも小さな機能を作成する能力は、付加的な利点です。フォトレジストマシンは非常に汎用性が高く、コンデンサ、抵抗、ダイオード、トランジスタ、およびその他の多くのコンポーネントを含むさまざまなマイクロエレクトロニクス部品やデバイスの製造に使用できます。さらに、フィルタ、ブリッジ、マルチプレクサなどのマイクロエレクトロニクス構造を作成するために使用できます。MICROTECガンマフォトレジストツールは、ユーザーフレンドリーなコントロールで設計されており、オートフォーカスやカラーLCDタッチスクリーンディスプレイなどのユーザーフレンドリーな機能を提供しています。また、オペレータに不具合やモデルの不具合を警告する自己診断アセットなどの安全機能も含まれています。フォトレジスト装置はあらゆる実験室の設定に非常に適応可能であり、優れたデバイス製造結果を提供します。
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