中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9314869 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス部品の製造に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、リソグラフィのための自動化された多機能ツールであり、正確で反復可能な結果を提供します。最大150mm、最小フィーチャーサイズ0。2 μ mのフラット基板加工に適しています。このユニットは、レジストコーターや開発者、ステッパー/スキャナ、レーザー干渉計、画像およびパターン発生器などのいくつかの技術を統合しています。機械の部品は超薄膜の技術を含むいろいろな適用のために協力できます。このツールは、グレースケール、バイナリ、接触、近接、ステップアンドリピート露光スキームなど、さまざまなリソグラフィ機能も提供します。ステッパー/スキャナは、数ナノメートルのアライメント精度で0。5〜24 mmのレンズ間フォトマスク距離を処理できます。アセットは、0。5000 μ mまでの分解能と0。2 μ mの精度で高解像度のパターンを生成することができます。このモデルは、レジストコーティングの厚さ、露出強度と持続時間、および開発時間と状態を正確に制御します。統合されたMST計測装置は、レーザー干渉計を使用して、設計された基板に露出した構造を検査します。これは、ダウンタイムを最小限に抑えて再現可能な結果を確保するのに役立ちます。また、ジョブ管理、マルチユーザー制御、プロセスオートメーション、データ分析用の統合ソフトウェアパッケージも備えています。このソフトウェアは、ユーザーがパターンを迅速かつ簡単に作成、管理、保存し、開発までの時間を最小限に抑えるのに役立ちます。さらに、解像度と精度を向上させ、様々なパターンを露光する高精度画像ジェネレータを搭載しています。結論として、MICROTECガンマは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス部品の製造に精密で再現可能な結果を提供する自動およびモジュラーフォトレジストマシンです。さまざまな技術と機能を統合して、ダウンタイムを最小限に抑えて一貫した結果を提供します。高解像度、高精度アプリケーションに適しており、ジョブ管理、マルチユーザー制御、プロセスオートメーション用の統合ソフトウェアパッケージを提供しています。