中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9299570 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、直径250mmまでの基板加工用に設計されたフォトレジスト装置です。システムはフォトマスクアライナーとトラックで構成されています。アライナーは、最大250mmのサイズのマスクと基板の高解像度アライメントと露出のために設計されています。トラックには、それぞれフォトレジストコーティングとベーキング用の液体ハンドラーとオーブンが含まれています。ステッピングモーターとカメラを搭載し、アライナーの操作を自動制御し、アライメント精度を登録することができます。MICROTECガンママシンは乾式リソグラフィープロセスであり、さらに2つの段階に分かれています。マスキングおよびイメージ投射およびフォトレジストのコーティング。マスキングとイメージングの段階では、マスクを介して基板に向けられた光源を使用します。これにより、パターン化された露出基板が得られます。フォトレジストコーティングステージには、液体ハンドラを使用して基板をフォトレジストでコーティングします。液体ハンドラーはノズルによって基質にフォトレジストを、分配します。その後、オーブンはフォトレジスト溶液を活性化するために、コーティング基板を熱的に処理するために使用されます。KARL SUSSガンマツールには、基板表面にマスクの真空接触を可能にする真空チャックがさらに装備されています。これにより、マスクを基板表面に正確に配置することができ、マスクと基板の間に均一な接触をもたらします。さらに、Gammaアセットは、ステッピングモーター制御とモデル性能を向上させるモーターのルックアップテーブルを提供しています。ステッピングモーターは露出区域の精密な制御を可能にします、モーター一見テーブルは露出区域に関して位置の正確さを制御する機会を与えます。KARL SUSS/MICROTECガンマ装置はさらにチャートレコーダーを備えており、全体的なリソグラフィ結果を迅速かつ正確にチャート化します。全体として、MICROTECガンマは、現代のフォトリソグラフィープロセスのニーズを満たすように設計された非常に効果的なフォトレジストシステムです。ステッピングモーター、真空チャック、モーターのルックアップテーブルなどの先進的な機能を搭載し、マスクを基板表面に確実かつ正確にアライメントすることができます。これにより、マスクと基板の間の均一な接触が保証され、正確なリソグラフィ結果が得られます。さらに、このマシンにはチャートレコーダーが用意されているため、リソグラフィ結果を簡単にチャート化でき、迅速かつ正確なプロセスドキュメントが可能です。