中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9287389 を販売中
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KARL SUSS/MICROTECガンマは、MICROTECの最先端フォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、マイクロエレクトロニクスおよびナノエレクトロニクスデバイスの製造に使用されます。MICROTECガンマシステムは、Microtek UV1ユニットへのアップグレードであり、優れた解像度、再現性、スケーラビリティを提供します。KARL SUSSガンマは、電動リニアステージと最新のディープUVプロジェクションオプティクスを備えています。この光学系とステージのユニークな組み合わせにより、最大1µmの再現性を備えた±1.7µmまでの機能の解像度を実現します。このマシンは、スケーラビリティを確保するために1x-6x倍率を使用し、薄膜リソグラフィで10cm x 9cmウェーハを製造することができます。ガンマ工具は、ポリメチルメタクリレート（PMMA）、ベンゾシクロブテン（BCB）、シプリー1809およびAZ技術など、さまざまなフォトレジスト材料とも互換性があります。KARL SUSS/MICROTECガンマは、高精度で費用対効果の高いフォトレジスト資産です。そのデザインは、従来のフォトリソグラフィでは不可能であった可能性が高いアスペクト比の特徴のイメージングを可能にします。また、ラピッドプロトタイピングや少量生産を必要とする企業向けの低コストのソリューションも提供しています。このモデルは、リソグラフィークリーンルームの必要性を排除する自己完結型ユニットです。直感的なソフトウェアベースのユーザーインターフェイスと高度なプロセス制御ツールにより、シンプルで反復可能な操作が可能です。また、自動ウェーハセンタリング、歪み補正、プリアライメントなどの高度な機能も備えています。MICROTECガンマは、精密かつ再現性のあるフォトリソグラフィを必要とする半導体およびナノテクノロジー業界の人々にとって優れた選択肢です。その優れた解像度、スケーラビリティ、コスト削減により、小規模生産やプロトタイピングに最適です。直感的なデザインと高度な機能を備えたこの機器は、さまざまなフォトリソグラフィおよびマイクロエレクトロニクス製造要件に対応する便利で信頼性の高いツールです。
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