中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293814499 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、高解像度微細加工用に設計されたフォトレジスト装置です。フォトレジストは、微細加工のための基板上のパターンを作成するために使用される感光材料です。MICROTECガンマシステムは、高精度な光ファイバー照明ユニットを採用しており、高解像度の画像で多種多様なフォトレジストを正確に配置し、露光することができます。また、プレアライメントステージを内蔵しており、露光処理のためにレンズ前面に基板を正確に配置することができます。KARL SUSSガンマツールは、複数のレジストレイヤーを使用したシングルレベルのフォトリソグラフィープロセスとマルチレベルプロセスの両方に最適です。スタンダード、ネガティブ、ポジティブレジストなど様々なタイプのレジストを使用して、10マイクロメートルからマイクロメートル未満までの特徴サイズのパターンを生成することができます。ガンマアセットは、さまざまなプレートサイズと異なるフォトリソグラフィ構成をアプリケーションに基づいて使用することを可能にするモジュラー設計を備えています。KARL SUSS/MICROTECガンマモデルも高精度で再現性があり、高精度で再現性のあるパターンを生成することが可能です。MICROTECガンマ装置の露光プロセスは、露光時間、ランプ電力、波長、焦点位置など、さまざまなパラメータで制御できます。これにより、高解像度で再現性のあるパターンを適用するのに適したシステムとなります。KARL SUSSガンマユニットのユニークな特徴は、露出中のフォーカス位置を正確かつ再現可能に監視できるフォーカス移動制御です。これは、誤ったフォーカスによる画像のぼかしを回避するのに役立ち、最高解像度の画像を確実にします。ガンママシンには、露出中のレジスト層の温度を正確かつ正確に制御するためのペルチェ効果冷却ツールも含まれています。これは、抵抗粘度の望ましくない変動を回避するのに役立ち、パターンの解像度と再現性の向上につながります。また、KARL SUSS/MICROTEC Gammaアセットには、マスクホルダーや基板を検査するための光学ビューア、プログラマブルなオートフォーカス追跡モデル、露出時間やその他のパラメータを制御する「タイマーモード」プログラムなど、さまざまな機能が搭載されています。MICROTECガンマ装置は、高分解能微細加工のための優れたフォトリソグラフィックシステムであり、最も要求の厳しいアプリケーションにおいて精度、精度、再現性を提供します。