中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293798807 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、微細加工およびナノ加工プロセス用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、マスクから基板にパターンを転送するために投影リソグラフィ技術を使用しています。ミクロンおよびナノメートルスケールでの寸法精度のフォトレジストパターンの開発に使用できます。紫外線（UV）光源と照明用光学を搭載しています。これには、198 nmのエキシマーレーザー、157 nmのフッ素レーザー、および可変的な数値開口部（NA）のセットが含まれます。また、g-line （436nm）、 i-line （365nm）、 deep-UV （248nm）の放射または光の波長の組み合わせを使用して、露光スペクトルを広げることもできます。このマシンは、自動ウェーハアライナー、アライメントマーカー、正確なムーブメントツール、フルフィールドのプログラム可能な強度変調、オートフォーカスおよびオートリフレッシュ機能、および位置変更段階など、高度な露出とパターニング機能を備えています。また、パターン化されたフォトレジスト領域の露光翻訳（シフト）や高解像度イメージングも可能です。MICROTECガンマは、標準的なベンチトップ形式で構築され、加熱スピニングディスク付きフォトレジスト材料の便利なウェット処理を提供しています。さらに、このアセットは、真空ベースのクリーン平面乾燥処理環境に容易に統合して、複数の層構造とナノインプリントプロセスを作成することができます。KARL SUSSガンマは、マイクロおよびナノテクノロジー分野で最も要求の厳しいプロジェクトの高精度パターニングのためのスループットと安定性を提供し、数ナノメートルから数マイクロメートルまでの寸法を持つ機能の開発を可能にします。これにより、製造された部品が正確であり、MEMS、センサー、光電子機器、生体医療機器などの幅広い技術に適した特性を有することが保証されます。また、真空チャンバーには、廃棄物収集装置、ネットワーク接続、保護ガラス窓を備えています。最後に、強力なユーザーフレンドリーなソフトウェアであるSuss MICROTEC Premiere™を使用すると、ユーザーはマスクを迅速かつ簡単に作成し、データをインポートし、各露出の詳細を自動的に記録できます。