中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293778062 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、マイクロ電気および光学部品の製造に使用されるフォトレジスト機器です。複数のフォトレジストタイプとプロセスを同時に処理するように設計されており、エッチング処理において高い精度と再現性を提供します。"MICROTEC Gammaは、非常に透明で化学的に耐性のあるフォトレジストDL-2Yフォトレジストの両方を組み合わせたオールインワンのDL-2Yフォトレジストシステムで、リソグラフィとドライエッチングのマスクとして一般的に使用されています。DL-2Yフォトレジストは高分子ベースであるため、光学およびX線マイクロリソグラフィの両方に使用できます。カールサスガンマユニットは、フォトレジストコーティングと開発のための自動ソリューションを提供します。これにより、手動アプリケーションの必要がなくなり、フォトレジスト層の厚さをはるかに高度に制御できます。このマシンは、高度なハードウェアインターフェイスを含む片持ち式の自動ウェーハローダーを提供し、材料分布とフォトレジストのプリベイクパラメータを柔軟に制御できます。内蔵のスキャンヘッドは、最大+0。1 umの精度でアライメント精度を向上させるように設計されています。さらに、Gammaツールは高解像度のデジタルイメージングアセットを備えており、画像の可視化の精度を高めています。KARL SUSS/MICROTECガンマは、2段階の加熱および冷却モデルを使用して、理想的なフォトレジスト硬化と開発を実現します。また、エッチング時にフォトレジストマスクを正確に配置するためのリフトピンを内蔵しています。デュアル密度PTFEコーティングコンベアにより、チャンバーからウェーハを簡単に積み下ろしできます。MICROTECガンマは、直径、コーティング厚、フィルム材料に幅広いオプションを提供し、専門的な作業に高度にカスタマイズ可能です。最後に、KARL SUSSガンマ装置は、欠陥の検出と検査を容易にするための高度なバックライト付き表示システムを備えています。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスで設計されており、非常にユーザーフレンドリーです。Gammaフォトレジストユニットを使用すると、オペレータはフォトレジストのクラッキング、エッジロールオフ、クリティカルな寸法損失を最小限に抑え、高品質のマイクロエレクトロニクスおよび光学部品を実現できます。