中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293745413 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、ナノファブリケーション分野における主要なフォトレジストシステムの1つです。この装置は、カスタマイズされたマイクロデバイスまたは構造のフォトリソグラフィに使用できる商用マスクアライナーです。MICROTEC AGによって開発され、最も広く使用されているフォトレジストシステムの1つです。MICROTECガンマには、非常に効果的な装置になるいくつかの機能があります。解像度は0。5 umで、幅広いデバイス構造に対応するための長距離の作動距離を提供します。このシステムは、マスクとウェーハを正確に配置するためのコンタクトバーを備えた最先端の高性能X-Y-Thetaステージを備えています。また、大型オートフォーカスモーターと露出制御を搭載し、露出時間を正確に制御します。統合されたステッピングモーターにより、マスクとウェーハのアライメントを手動または自動インデックスで調整できます。KARL SUSS Gammaには、最大9台のウェーハを同時に積み降ろすことができる高速ウェーハ転送機も搭載しています。この機能により、同じプロセスで複数のウェーハを実行する際のセットアップ時間が大幅に短縮されます。さらに、このツールには自動化されたフィルターチェンジャーがあり、さまざまなフォトレジスト製剤のさまざまな波長を素早く調整できます。この資産の最も顕著な側面の1つは、自動ウェーハ処理機能です。このモデルは、ウェーハを負荷/アンロードステーションからマスクに輸送し、それぞれのウェーハカセットに戻すコンベア装置を備えています。これにより、リソグラフィ処理中に手動でウェーハをロードおよびアンロードする必要がなくなります。ガンマは、幅広いデバイス用途のナノ構造の作成に興味のある方に最適です。それは比類のない正確さと速度を提供し、経験豊富なユーザーと初心者の両方に非常にユーザーフレンドリーです。このシステムは、様々な用途におけるマイクロスケールの特徴と構造の実現を可能にする貴重なツールです。