中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293745276 を販売中
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KARL SUSS/MICROTECガンマは、マイクロエレクトロニクスおよびエレクトロニクス業界のフォトリソグラフィ用途に使用されるフォトレジスト機器です。デジタルステッピングシステム、真の1ミクロンのアライメント、リアルタイム位置決めユニット、プログラマブルステージ、高度な光学機器で構成されています。マイクロテックガンマは、溶融シリカ、石英、ポリエステル、ポリカーボネートなどの基板に3次元パターンや形状を正確かつ正確に露出させることができます。これは、すべてのフォトリソグラフィ作業を完了するために必要な時間を短縮するように設計されています。KARL SUSSガンママシンは、高解像度のステップアンドリピート露光技術を使用しています。この技術は、ステップとリピートプレートの間に基板を移動させ、垂直方向に調整可能な投影レンズで構成されています。レンズに関して基板の位置を制御することで、パターンの正確な定義を維持しながら基板の表面を正確に露出させます。ステッピングツールはソフトウェアを介して制御され、基板表面のパターンを露出するときに正確なアライメントと精度を提供します。さらに、高解像度パターンジェネレータと、開発船、ホットプレート、開発者、エッチング、スピンコーター、スプレーシュートなど、必要なすべてのツールを含むコンピュータ化された自動ダークルームが装備されています。この技術により、フォトリソグラフィーソリューションを手動で準備する必要がなくなり、ユーザーはフォトリソグラフィープロセスのすべてのステップを迅速かつ正確に完了できます。ガンマには、光学ピンセット、深紫外線レンズ、1024x1024ピクセルCCDカメラ、走査型電子顕微鏡(SEM)モジュールなどの高度な光学系も搭載しており、サンプル表面を詳細に調べることができます。これらの高度な光学系は、モデルの解像度と精度を高め、アプリケーションの範囲を広げます。結論として、KARL SUSS/MICROTECガンマフォトレジスト装置は、さまざまな基板上に複雑なパターンを正確に露出させることができる効率的で正確かつ堅牢なフォトリソグラフィーツールです。その高度な光学系およびステッピングシステムは、正確で再現性のある露出を保証しますが、自動化された機能は、マイクロエレクトロニクスアプリケーションに時間を節約し、費用対効果の高いソリューションを提供します。
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