中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293652802 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、MICROTECが製造するフォトレジスト機器です。このフォトレジストシステムは、ウェハレベルのイメージングやファインラインパターニングなどの高度なリソグラフィ用途向けに設計されています。MICROTECガンマは2つの独立したヘッドで動作し、それぞれ異なるプリセットのフォトレジストとオーバーレイの表示パラメータを表示できます。これにより、ユーザーはさまざまなフォトレジストとオーバーレイパターニングを同時に作業できるため、精密リソグラフィーアプリケーションに最適です。さらに、各ヘッドには、より高いレベルのディテールのための追加の対物レンズを装備することができます。KARL SUSS Gammaは、X方向とY方向の調整可能な電動ステージと、より大きなウェハサイズの大型サンプルテーブルを備えています。また、動作中にユニットが一貫した温度にあることを保証する特殊なクールダウンプロセスも含まれています。この機能により、温度の変化が熱変形につながる可能性があるため、ユーザーは高精度のイメージングを実現できます。精度と再現性を確保するため、ガンマフォトレジストマシンはウェーハアライメントツールで設計されています。ウェーハ位置の自動アライメントだけでなく、パターンの手動アライメントも可能です。これらの機能により、リソグラフィ工程中の精密な位置決めが可能です。最後に、KARL SUSS/MICROTEC Gammaには、RGBカラー最適化モデルも組み込まれています。基板から基板までの色調を正確に再現し、一貫性のある結果を実現し、パターンを正確に再現することができます。MICROTECガンマフォトレジストシステムは、高精度リソグラフィープロセスの先進的なソリューションです。独自の機能により、高精度で再現性の高い複雑なパターンを正確に生成できます。調整可能な電動ステージ、特殊なクールダウンプロセス、RGBカラー最適化ユニットを備えたKARL SUSS Gammaは、高度なリソグラフィに最適なソリューションをユーザーに提供します。