中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293617131 を販売中
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ID: 293617131
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2010
Developer system, 6"-8"
(2) Port cassettes
(3) Developer units
(5) Hot plates
(2) Cold plates
2010 vintage.
KARL SUSS/MICROTECガンマは、様々な微細構造の高解像度・高精度パターンの生成を可能にするフォトレジスト機器です。それは電子回路、MEMSおよび光電子部品の製造を含むいろいろな適用に、使用することができます。システムは、マスクアライナー、小型プロセッサ、プラズマ活性化ウェットエッチングモジュールで構成されています。マスクアライナーはフォトマスクを保持し、ステッピングプラットフォーム上でフォトリソグラフィックパターニングプロセスを実行し、基板上のマスクの正確なアライメントを可能にします。小型プロセッサはフォトマスクからパターンデータを受け取り、それを処理して基板上にフォトレジストパターンを作成します。プラズマによって活動化させるぬれたエッチング・モジュールは基質の露出された区域をエッチングし、取除くのに使用されています。MICROTECガンマユニットは、露光量、照明パターン、露光時間などのプロセスパラメータのユーザー制御を提供します。これらにより、プロセス変数の最適化により、高解像度で正確なパターンラインと機能を生成できます。このマシンには、高精度レンズ、直感的なユーザーインターフェイス、およびユーザーがパターンを設計し、パラメータを調整することができるソフトウェアが装備されています。KARL SUSSガンマツールは、プリント基板、MEMS、オプトエレクトロニクス部品の製造など、用途に適した幅広い機能を提供します。高精度なパターン生成とアライメントプロセスを提供することで、製造プロセスに関連する時間とコストを削減できます。ガンマ資産は信頼性が高く、操作が容易であるように設計されており、ユーザーは迅速かつ簡単に高品質のマイクロパターンを作成することができます。さまざまな温度や湿度条件で使用でき、複雑なパターンをタイムリーかつ費用対効果の高い方法で開発するための幅広いツールを使用できます。このモデルは、多種多様な基板上に複雑なマイクロパターンを作成するのに最適で、製造用途に最適です。
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