中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605215 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、高度な微細加工プロセスに最高の精度と精度を提供するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、精密で高解像度のフォトレジスト構造を製造するための高精度で信頼性の高いプラットフォームです。MICROTECガンマには、ロボットアーム、高精度リニアステージ、自動化された8 「x12」ウェーハローディングユニット、および高倍率のフルフィールドイメージキャプチャ機能を搭載しています。このマシンは、高い精度と再現性を維持しながら、1時間あたり最大350ウェーハを処理するように設計されています。フォトレジストプロセスは、ウエハ上の望ましい構造を達成するために紫外線を使用します。ズームコントロールを使用すると、光学ツールの倍率と露光時間を変更できます。露出アセットは、必要に応じて露出線量、線量率、スポットサイズの自動制御によって駆動されます。KARL SUSSガンマはまた、露出温度を制御することによって露出の分解能を向上させるために統合されたオーブンを備えています。ガンマは、リソグラフィ、エッチング、スパッタリング、平面化など、さまざまな微細加工プロセスに使用できます。ウェーハサーフェスに適用されるフォトレジスト層は、手動または自動クリーニングシステムを使用して取り外すことができます。さらに、KARL SUSS/MICROTECガンマは、新しいフォトレジスト層を適用する前にフォトレジスト層を除去するために使用することができます。統合されたアライメントモデルは、フォトレジストの複数層を適用する場合、または露出補正を実行する場合に、高精度と再現性を保証します。MICROTEC Gammaには、露出からのデータを分析し、将来の参照のために結果を保存することができる高度なソフトウェアスイートが装備されています。ソフトウェアはまた、露出の問題を検出し、フォトレジストプロセスのさまざまな問題のために自動的に修正することができます。結論として、KARL SUSSガンマは、高精度の微細加工プロセスに最適なフォトレジスト機器です。これは、ユーザーが費用対効果の高いセットアップで優れた結果を達成することを可能にする幅広い機能を提供しています。自動化されたウェーハローディングシステム、統合されたオーブン、強力なソフトウェアスイート、自動化されたコントロールは、高度なフォトレジストアプリケーションに理想的な組み合わせを作り出します。