中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605209 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、高度な微細加工、リソグラフィ、光学アプリケーションをサポートするために設計されたフォトレジスト機器です。紫外線源、光学テーブル、精密位置決めシステムなど、微細構造物やナノ構造物の生産に適した環境を提供するさまざまな部品で構成されています。紫外線光源は、100nmから500nmまでのスペクトル範囲で微調整可能なパワー強度と波長を備えています。露光時間を短縮し、より高い解像度のパターンを得るために最大350mW/cm2を提供します。このソースは、抵抗材料と非抵抗性フォトリソグラフィック材料の両方に適しており、幅広い用途の可能性を可能にします。この光学テーブルは、アルミニウムまたは鉄骨構造で構成されており、表面が大きく、レーザーカットされて平坦度が1µm未満であるため、フォトリソグラフィ作業中に光学部品を非常に正確に配置できます。それは200kgまで支える調節可能な鋼鉄基盤に取付けます従って露出時間の間に改善された安定性を提供します。精密ポジショニングユニットは、2つの高精度マイクロメーターヘッドで構成されており、それぞれの動作範囲は5mmです。各マイクロメーターヘッドの動きを独自に制御することで、高精度な位置決めを可能にする様々な微細構造とナノ構造を実現します。MICROTECガンマには、生産プロセスを容易にするためのさまざまな追加アクセサリーも含まれています。これらには、ベースプレートとフォトマスクを取り付けるためのフレーム、基板とマスクを整列させるためのステージ、真空チャック、検索モード用の可動ステージが含まれます。全体として、KARL SUSS Gammaは確かに、ナノメートルレベルまで精密に微細構造とナノ構造を生成するのに適した環境を提供します。光学的に安定した技術、高速露光時間、およびさまざまなアクセサリにより、これは高度なフォトリソグラフィ用途に適した機械です。