中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293586449 を販売中
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ID: 293586449
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2010
Developer system, 6"-8"
(2) Port cassettes
(3) Developer units
(5) Hot plates
(2) Cold plates
2010 vintage.
KARL SUSS/MICROTECガンマは、主に高度なフォトリソグラフィの分野で使用される最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストは光に敏感な材料で、微細構造などの微小な回路要素のエッチングと構造化を可能にします。MICROTECガンマは、石英、SiC、ダイヤモンドなどのマスク基板のパターニングに最大0。5 µmの分解能を有し、業界標準のさまざまなフォトレジストと互換性があります。カールサスガンマは、フォトリソグラフィで使用される他のプロセスよりも高い精度とアライメントを提供する、軸外投影アライナーを使用しています。したがって、ガンマ線はより正確な微細構造を短時間で生成し、効率と信頼性の向上につながります。露光時間が0。06秒と短く、最大6つのアライメントマークでパターン化されているこのフォトレジストシステムは、対応するフォトレジストシステムよりも大幅に高速です。高度なプロジェクションアライナーに加えて、KARL SUSS/MICROTEC Gammaには、バックサイドのアラインメントオプションを自動で組み込むことができます。この機能は、最高レベルの精度と信頼性を達成するために重要です。また、全自動のin-situ急速に開発された技術を提供しており、さらなる迅速かつ簡単な露出プロセスを可能にします。MICROTECガンマのもう一つの利点は、ユーザーフレンドリーな機能にあります。シンプルで直感的なソフトウェアで、そのオペレーティングマシンは最小限のユーザー入力を必要とするように設計されているため、誰でも技術的なノウハウがないツールを使用することができます。さらに、アセットは、より高度なスキルセットを持つそれらのユーザーに対応するようにプログラムすることができ、ニーズに応じてモデルをカスタマイズする力を与えます。全体として、KARL SUSS Gammaは高度で高効率なフォトレジスト機器であり、自動、直感的、カスタマイズ可能な幅広い機能を備えており、フォトリソグラフィに最適です。高精度、高速露出、自動化されたアライメントおよび開発能力により、ガンマはユーザーからの入力を最小限に抑えながら、一貫した信頼性の高い結果を生み出すことができます。
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