中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293586448 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマは、精密フォトリソグラフィに使用される最先端のフォトレジスト機器です。MICROTECガンマは、高品質で再現性のあるレンズとマスクを高精度に製造する完全自動化システムです。露出、開発、洗浄など幅広い機能を備えています。KARL SUSS Gammaは、XUV Hg-Cd-Arランプの形で高出力の光源を使用しています。XUVランプの波長は248 nmから488 nmまであり、正確で信頼性の高い露出のために高い露出エネルギーをもたらします。ガンマはまた、正確なパターン露出のためにプログラム可能なズームオプティクスを使用します。KARL SUSS/MICROTECガンマのアクティブ露出領域は300 mm x 300 mmの範囲で、最大倍率は5倍です。これにより、正確なパターン配置と優れた再現性が保証されます。露出プロセスは、完全に統合されたリアルタイムソフトウェアとハードウェアユニットによって制御されます。これには、プログラム可能な露出ステージ、高精度の露出コントローラ、および応答性の高い露出フィルタシステムが含まれます。開発および洗浄操作は、統合された栽培ユニットによって処理されます。このユニットには、さまざまなプロセス条件や材料の露出領域にプログラムすることができるスピン開発者が装備されています。リンスユニットはコンピュータ制御でもあり、一貫した結果を得るためにプロセスを精密に制御します。MICROTECガンマはネットワークに接続することができ、プロセス制御および品質保証ソフトウェアと互換性があります。これにより、ユーザーはプロセスをリアルタイムで監視および調整することができます。さらに、カールサスガンマは、ポリマー、セラミックス、金属など、さまざまな材料で動作することが認定されています。全体として、ガンマは高度で信頼性の高いフォトレジストマシンを提供し、高い精度と再現性で精密な結果を提供します。それは多くのフォトリソグラフィおよびマイクロマシニングの適用のための理想的な選択です。