中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293585692 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC Gamma
ID: 293585692
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 2009
Developer systems, 4"-6" 2009 vintage.
KARL SUSS/MICROTECガンマは、ハイエンドの性能と柔軟性を兼ね備えたフォトレジスト機器で、さまざまな微細加工用途において複雑で繊細なパターンの生産を可能にします。このシステムは、デバイスの小型化に不可欠な表面粗さを3ナノメートルまで下げた2次元および3次元構造の開発に向けて設計されています。このユニットは、可変角度バーと相まって非常に高精度の8軸移動段階を備えており、複数の材料を処理することができます。また、背景照明の設定のフルレンジを提供しています、UVで処理することができます、Eビーム、IラインとKR+波長。この機械の解像度と精度により、フォトマスクの製造、回路と部品の修理、表面実装部品、MEMSおよびNEMデバイスの製造、エッチングおよびポリマーナノ加工などの高精細リソグラフィーアプリケーションも可能になります。MICROTECガンマはまた、多くの先端技術を提供しています。統合された3Dスキャンソフトウェアにより、X、 Y、 Z軸の複雑な3次元画像のアライメントが可能になります。また、複数のリソグラフィ工程を1つのプロセスに統合することができる、構成可能なマルチレイヤー機能も備えています。これにより、個々のアライメントと位置決めが不要になります。さらに、KARL SUSS Gammaには統合されたプロセス制御ツールも搭載されており、さまざまなパラメータにわたるプロセスのリアルタイム最適化が可能です。これには、露出線量、露出後のプロセス、およびオーブン温度が含まれます。アセットのハードウェアとソフトウェアも簡単にアップグレードでき、変更パターンに合わせてカスタマイズ可能で、優れた表面品質、ラインエッジの粗さ、細かい機能を備えた構造の製造が可能です。Gammaモデルは、生産性の向上と製品品質の向上から、ユーザーフレンドリーなID統合と使いやすいソフトウェアによるコスト削減まで、製造プロセスに多くの利点を提供します。最先端の設計と最先端の技術により、KARL SUSS/MICROTEC Gammaは、最も要求の厳しい微細加工アプリケーションのニーズを満たすことができます。
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