中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma DSSP #9232866 を販売中
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販売された
ID: 9232866
ヴィンテージ: 2013
Coater / Developer system
4M
Quantity / Part number / Description
(1) / V700041 / SUSS Gamma microlithography cluster 4M
(1) / 100005154 / SUSS Gamma frame extension 2S
(1) / 100005155 / SUSS Gamma adjustable air flow cover 4M
(1) / 100009611 / Safety interlock for all doors on the system
(1) / 100005513 / Auto carrier ID dialog
(1) / V700032 / Bar code reader for sequence selection
(1) / 100009610 / Single end effector robot (SR8230)
(1) / V711021 / Optical cassette scanner
(1) / 100001254 / Special stacked (4) I/O gamma
(1) / Q11986-08 / Carrier-LEDs for (2) carriers
(1) / 100010113 / Rotational pre-aligner
(1) / Q200286-01 / Special fork type vacuum end effector R4-R6 for robot with minimized heat transfer
(2) / V709001 / SUSS Topography coater alta sprays
(2) / 100006861 / Special substrate assembly R4 alta sprays BSR
(2) / - / Special substrate assembly R6 alta sprays BSR
(2) / V734510 / Resist spray dispense system up to 30cP with filter and reservoirs
(2) / V723000 / Resist bottle holders
(2) / V723010 / Resist bottle adapters
(2) / V734520 / Pre wet dispense nozzle alta sprays
(2) / V734540 / BSR Dispense option alta sprays, 50ml
(2) / V734545 / Additional chuck vacuum lines
(2) / V745120 / Filter unit solvents
(1) / V736101 / Aqueous process module
(1) / V736111 / Programmable dispense arm AQ
(1) / V736135 / Substrate assembly R4-R6 AQ
(1) / V736300 / Puddle dispense system AQ
(1) / V736320 / Fan spray dispense system AQ
(1) / Q736320 / Fan spray dispense system AQ for 3rd line
(1) / V736340 / Topside rinse dispense AQ
(6) / V736390 / Flow detection sensors AQ
(1) / V745100 / Filter unit DI-water
(1) / V745110 / Filter unit AQ developer
(1) / V738030 / Nitrogen drying option
(1) / V740010 / Hot / Cool plate / Vacuum prime stack module
(2) / V744110 / Hot plate cassette 250° C proximities
(2) / V744230 / Cool plate cassette proximities
(1) / V744300 / Vacuum primer
(1) / 100000699 / Substrate assembly vacuum primer R2-R8
(1) / V744340 / Pressure tank system (5L Stainless steel / HMDS) / Bubbler
(1) / V744350 / Safety package HMDS
(1) / V826020 / JULABO FL601 TCU, 50 Hz
(3) / V760011 / Media storage stainless steels
(1) / V760120 / Pressure tank system (10L stainless steel bulk fill)
(2) / 100005184 / Pressure tank systems (5L PE bulk fill) KALREZ
(1) / V760240 / Waste canister (20L Stainless steel) quick
(1) / V772005 / Additional gas monitor
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTECガンマDSSPは、微細加工用に設計されたフォトレジスト装置です。光学と電気の両方の技術を組み合わせて、レジスト層を基板表面に正確に堆積させることができます。真空成膜室、真空マニピュレーター、シリンジユニット、パターンマスクで構成されています。この蒸着室には、3次元で移動できる高精度の空気圧式プラットフォームが収納されています。このプラットフォームは、マスクに近接して再現可能なウェーハ配置を可能にします。堆積材料は、通常、フォトレジストポリマーなどの高度なフォトレジスト製剤であり、注射器を介してポンプで送られます。シリンジツールは、フォトレジスト材料の流量、投与量、パターニングを正確に制御するために調整することができます。アセットには、通常、水晶または金属で作られたパターンマスクも組み込まれており、これは堆積チャンバーに取り付けられています。マスクは、堆積フォトレジスト材料の露出を特定の領域に制限するために使用されます。マスクのパターンは、リソグラフィによって生成されます。統合されたレーザー露出モデルは、露出領域の活性化を高めるために紫外線を提供します。装置にはさまざまな電圧設定が用意されており、堆積時間のカスタマイズとレジスト層の品質の正確な制御が可能です。レジスト層は、ユーザーが選択可能な温度で「焼成」され、層の間に物理的、化学的、または電気的結合を作成します。また、真空チャンバーの空気圧制御により、プロセス全体の究極の精度と再現性を実現しています。MICROTECガンマDSSPは、極めて薄く均一で複雑な層を基板表面に堆積させることができる先進的なフォトレジストユニットです。高精度のテーラードシリンジシステムとリソグラフィーの洗練されたパターニング技術を組み合わせ、正確で繰り返し可能な結果を保証します。これは、ユーザーが微細加工アプリケーションの広い範囲の堆積プロセスを完全に制御することができます汎用性の高いマシンです。
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