中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma DSSP #9232865 を販売中
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販売された
ID: 9232865
ヴィンテージ: 2013
Coater / Developer system
4M
Quantity / Part number / Description
(1) / V700041 / SUSS Gamma microlithography cluster 4M
(1) / 100005154 / SUSS Gamma frame extension 2S
(1) / 100005155 / SUSS Gamma adjustable air flow cover 4M
(1) / 100009611 / Safety interlock for all doors on the system
(1) / 100005513 / Auto carrier ID dialog
(1) / V700032 / Bar code reader for sequence selection
(1) / 100009610 / Single end effector robot (SR8230)
(1) / V711021 / Optical cassette scanner
(1) / 100001254 / Special stacked (4) I/O gamma
(1) / Q11986-08 / Carrier-LEDs for (2) carriers
(1) / 100010113 / Rotational pre-aligner
(1) / Q200286-01 / Special fork type vacuum end effector R4-R6 for robot with minimized heat transfer
(2) / V709001 / SUSS Topography coater alta sprays
(2) / - / Special substrate assembly R6 alta sprays BSR
(2) / V734510 / Resist spray dispense system up to 30cP with filter and reservoirs
(2) / V723000 / Resist bottle holders
(2) / V723010 / Resist bottle adapters
(2) / V734520 / Pre wet dispense nozzle alta sprays
(2) / V734540 / BSR Dispense option alta sprays, 50ml
(2) / V734545 / Additional chuck vacuum lines
(2) / V745120 / Filter unit solvents
(1) / V736101 / Aqueous process module
(1) / V736111 / Programmable dispense arm AQ
(1) / V736135 / Substrate assembly R4-R6 AQ
(1) / V736300 / Puddle dispense system AQ
(1) / V736320 / Fan spray dispense system AQ
(1) / Q736320 / Fan spray dispense system AQ for 3rd line
(1) / V736340 / Topside rinse dispense AQ
(6) / V736390 / Flow detection sensors AQ
(1) / V745100 / Filter unit DI-water
(1) / V745110 / Filter unit AQ developer
(1) / V738030 / Nitrogen drying option
(1) / V740010 / Hot / Cool plate / Vacuum prime stack module
(2) / V744110 / Hot plate cassette 250° C proximities
(2) / V744230 / Cool plate cassette proximities
(1) / V744300 / Vacuum primer
(1) / 100000699 / Substrate assembly vacuum primer R2-R8
(1) / V744340 / Pressure tank system (5L Stainless steel / HMDS) / Bubbler
(1) / V744350 / Safety package HMDS
(1) / V826020 / JULABO FL601 TCU (50 Hz)
(3) / V760011 / Media storage stainless steels
(1) / V760120 / Pressure tank system (10L stainless steel bulk fill)
(2) / 100005184 / Pressure tank systems (5L PE bulk fill) KALREZ
(1) / V760240 / Waste canister (20L stainless steel) quick
(1) / V772005 / Additional gas monitor
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTECガンマDSSPは、半導体業界で広くマイクロチップ製造に使用されている高精度フォトレジスト機器です。高出力UV光源と洗練された光学系を組み合わせたシステムで、さまざまなフォトレジスト材料に精密なパターンを生成します。ユニットの中心には、1200ワットのキセノンアークランプをベースにしたガンマ光源があります。これにより、パワーと露光時間の両方で調整可能な高集束の紫外線カラムを生成することができます。光線は、レンズとミラーのセットによって形成され、コリメートされ、その後、基板に向けられます。ツールの中心にはCCDポジショナーがあり、光源に対して基板を正確かつ再現可能にアライメントできます。これにより、正確な量の光が表面上の正確な位置に届くことが保証されます。CCDポジショナーは、基板の存在を検出し、光を正しく集中させるために必要な調整を行うこともできます。高出力の光源や光学機器だけでなく、精密制御エレクトロニクスのセットも含まれています。これにより、光源と光学系を微調整することができ、フォトレジストの可能な限り最高の露出を達成することができます。光の露出を正確に制御することで、微細なディテールをフォトレジストに正確に転送できます。MICROTECガンマDSSPフォトレジストモデルは、単層フォトレジストと二層フォトレジストの両方で高精度なパターンを生成することができます。多種多様な集積回路やマイクロチップの製造に、半導体業界で広く使用されています。洗練された光学系、精密制御エレクトロニクス、高出力光源の組み合わせにより、KARL SUSS Gamma DSSPは非常に高いレベルの詳細と精度でパターンを生成することができます。
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