中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C #9210359 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマ80Cフォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクス製造用に設計された浸漬露光ツールです。4インチから8インチまでのさまざまなフォトレジスト技術、6ミルから250ミルまでの幅広い露出能力を備えています。MICROTEC Gamma 80Cは、400mm幅のスキャンベッドと、オプションの冷却ユニットを備えた自動ウェーハハンドリングシステムを備えています。その特徴は、より高速なスループットとより大きなウェーハサイズのための狭いフィールド露出、フィールドステッチ、およびマルチフィールド露出です。また、KARL SUSS Gamma 80Cはバーコード認識ユニットが限られており、露出設定をプログラム的に変更して、異なるリソグラフィ作業に対応することができます。ガンマ80Cには、専用のレーザーオートアライナーと、単一のウェハの複数の領域で線量レベルを正確に制御できる露出制御機が装備されています。さらに、このツールには、パラメーター構成、シミュレーション、診断など、露出プロセスの設定と自動化に必要なソフトウェアとコントロールが含まれています。KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80Cは、ソリッドフィールドビーム均一補正ツールを使用して、再現性のある一貫したプリントを提供します。ダイナミックグレースケール補正アルゴリズムと組み合わせて使用すると、露出前パラメータを微調整し、線量均質性を制御することにより、露出形状の精度と再現性が向上します。MICROTEC Gamma 80Cには、露出性能とプロセス安定性に関するフィードバックを提供するビームモニターモジュールが内蔵されています。このフィードバックは、結果を最適化するための瞬時の調整を可能にし、リアルタイムのプロセス制御のためのオンラインデータを提供します。最後に、KARL SUSS Gamma 80Cは、セキュリティ印刷、ファインインダストリアルテキスタイル、プリント基板、およびその他の精密フォトレジスト加工におけるリソグラフィ用途の究極のツールです。その精度、再現性、自動化されたオプションにより、フォトレジストの作業に最適です。