中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80 #9269957 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマ80は、微細加工用途向けに設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、UV感受性フォトレジストと長波長リソグラフィ露光源を組み合わせて、フォトレジスト材料で高品質の画像を生成します。MICROTEC Gamma 80で使用される露光源は、従来のArFベースのシステムの波長のほぼ2倍である365nmの範囲で動作する10mJ長波長レーザーです。これにより、10nmのライン幅を可能にする、より小さなフィーチャーサイズが可能になります。同時に、これはまた、光抵抗プロセスに必要な露光時間とエネルギーのより大きな制御を可能にします。KARL SUSSガンマ80ユニットは、フォトレジスト材料へのイメージング時に最大解像度5。5 μ m、光学アライメント精度5 μ mを備えています。これにより、フォトレジストで高解像度のパターンを作成でき、マイクロスケールとナノスケールの複雑なデバイスまたはコンポーネントの製造が可能になります。より具体的には、ガンマ80は厚さ20 SU-8 mまでの厚さの厚いμフォトレジストと0。45 μ mまでの厚さのキャスタブル超薄型フォトレジストの堆積とリソグラフィを可能にします。機械にまた露出の間に基質を保護するのを助ける統合されたペリクルがあります。さらに、KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80は、フォトレジストの自動回転やベーキングなど、さまざまなクリーンルームソリューションを提供し、フォトレジストプロセスの簡素化と精密化を実現しています。これらのソリューションにより、プロセスの一貫性と均一性が向上し、高い歩留まりが得られます。最後に、MICROTEC Gamma 80は、プロセスを制御するための高度なソフトウェアパッケージを提供します。このソフトウェアは、レーザー出力、露光時間、およびその他の高度なパラメータを含むツールパラメータの完全な監視と調整を可能にします。ソフトウェアはまた、迅速に資産設定を調整し、画像を表示するために使用することができるユーザーフレンドリーなツールのセットを提供し、迅速かつ簡単な操作を可能にします。KARL SUSS Gamma 80は、高度で強力なフォトレジストモデルで、高解像度のイメージング、自動化されたプロセス、高度なソフトウェアを提供し、フォトレジスト材料における複雑なパターンの生産を実現します。