中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #9165079 を販売中

KARL SUSS/MICROTECガンマ60フォトレジスト装置は、さまざまなリソグラフィープロセスで使用されるマスクアライナーです。MICROTECのガンマ60は調節可能な、高精度のテーブルとの異なった基質のサイズそして厚さを扱います。このシステムには、基板の正確な位置決めのための高度なステッピングモーターが装備されています。これは5 μ mの再現性と毎秒120ステップの最高速度を備えています。ワーキングエリアは、最大直径4インチのウェーハや基板などの大型基板の露出用に設計されています。KARL SUSSガンマ60には、フォトマスクと基板の正確なアライメントを行うための高度なステージユニットがあります。その優れた機械的安定性により、大量の露光時間を可能にし、回折格子の高精度な位置決めを保証し、品質のリソグラフィを保証します。高度なリソグラフィーマシンは、マイクロプロセッサ制御の露出機能を備えています。ガンマ60は、フォトレジスト、ベーキング、洪水暴露、および接触機能を組み合わせることで、優れた効率を提供するオールインワンツールです。アセットの露出照明モデルは、均一な露出を提供するために、光源の連続、非同期、自動位置決めが装備されています。また、KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60は、高精度パターンジェネレータなどの高度な機能を備えており、フォトマスク、回折格子、解像度チャート、リソグラフィに使用される他のオブジェクトなど、さまざまな基板をデジタル化することができます。MICROTECガンマ60は、リソグラフィープロセス用に設計された効果的な精密マスクアライナーです。マイクロプロセッサ制御の露出機能、調整可能なステージ装置、高度なパターンジェネレータは、優れた精度と信頼性を提供します。KARL SUSS Gamma 60は、信頼性が高く正確なステッピングモーターと幅広い露光光源を備えているため、高精度なリソグラフィープロセスが可能で、品質の高い結果が得られます。