中古 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #293828179 を販売中
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ID: 293828179
ウェーハサイズ: 4"-6"
Automatic coater system, 4"-6"
Robot type: GENMARK 4S0401013
(2) IO Ports
(2) Hot plates
Cool plate
HMDS Module
(3) Bellow pumps
Spin coating station
Developer station.
KARL SUSS/MICROTECガンマ60フォトレジスト装置は、あらゆる標準的な半導体プロセスラインとインタフェースし、ミクロンレベルの精度と解像度で複雑な微細構造の生産を可能にします。このシステムは、コンパクトでモジュラー設計を特徴とし、世界最先端の電子ビームパターニングと抵抗処理技術を統合しています。これにより、比類のないパターン品質と重要なフィーチャー制御が可能になり、最高の均一性と最も正確なオーバーレイアライメントを実現します。MICROTEC Gamma 60は、大面積ステージを採用しており、大面積の露出フィールドを提供し、大規模チップ生産に最適です。さらに、統合された設計は、ユニットの完全なリモート操作を可能にし、最大のオペレータの安全性を確保します。このマシンは、チップパターニングに優れた解像度を提供し、露光時間を短縮するための高速ビームブランカーを備えています。さらに、優れた焦点精度と被写界深度補正を提供し、希望する深さの複数の層を製造することができます。KARL SUSS Gamma 60は、最も正確な機能解像度と臨界寸法（CD）制御を保証するために、高コントラストプログラマを使用しています。また、露出線量やフォーカスなどの幅広いプロセスパラメータがあり、リモートで調整することができ、簡単で信頼性の高いプロセス最適化を提供します。このツールは直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、電子ビームを導き、最適な結果を得るためにプロセスパラメータを制御することができます。ガンマ60はまた、リアルタイムの欠陥検出のためのウエハの直接目視検査を提供する高度な光学資産を持っています。KARL SUSS/MICROTECガンマ60は、非常に安定した再現性のある画像を生成し、反復的な生産環境に最適です。さらに、このモデルは包括的なドキュメントとテクニカルサポートに裏付けられており、最高のパフォーマンスと信頼性を保証します。
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