中古 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9247695 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Falconは、マイクロおよびナノ電気機械システム（MEMSおよびNEMS）の製造用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、真空ユニットを内蔵した3軸ステージと、モジュール式の棚マウント可能な光学プラットフォームで構成されています。最大100nmの精度と再現性を実現する高精度マイクロベックス光学機器と、0。6um解像度のデジタルZ軸スキャナを搭載しています。また、精度、速度、生産性を向上させる高速レーザーウェーハスクライバーも備えています。MICROTEC Falconは、5nm/sまでの移動を可能にする高速電動Z軸を備えています。タッチスクリーンのユーザーインターフェイスと多言語オプションを備えたユーザーフレンドリーです。使いやすいインターフェイスは、さまざまな事前定義された設定で上下速度の選択を提供し、複雑な3Dパターンのプログラミングを可能にします。KARL SUSS Falconは、厚さから薄さまで、均一な厚さで複数のレジストタイプを処理するように設計されています。内蔵のスピンチャックツールは、自動上下コーティング機能を備え、適切な基板の高さに自動的に調整されます。2軸ウェーハアライメントのアセットのアライメントは、任意の深さと幅に調整することができます。このモデルは、10〜7〜102 torrまでのさまざまな真空レベルをサポートし、高品質の処理と長期メンテナンスを可能にします。自動真空生成は最適な真空圧力を保証しますが、内蔵の脱気装置は短時間の変化を防ぎ、ガルバノメーターの動作を維持します。また、外部から発生する振動を低減するガスショックアブソーバを搭載し、フォトレジスト露光工程の精度を向上させています。Falconは、適用されるすべてのCE要件を満たす最高の安全基準を念頭に置いて設計されています。このユニットは、ロックアウト/タグアウト、危険物処理、およびEPA/OSHA要件などのほとんどの標準安全プロトコルで動作するように設計されています。全体として、KARL SUSS/MICROTEC Falconは、マイクロおよびナノ電気機械システム業界のメーカーのニーズを満たすように設計された汎用性と信頼性の高いフォトレジストマシンです。