中古 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9215560 を販売中

ID: 9215560
ウェーハサイズ: 8"
PI Coater, 8" Operating system: Windows XP I/O Robot movement: I/O Module User interface: Tri-color lamp tower Audible alarm Keyboard Trackball Wafer handling: (4) Cassettes (Input port) Handling robot Pre-aligner Coating module: Arm movement Chuck spin Lift pin movement Weight scale Chemical dispense Lift pin movement: Temperature module Cooling module Utility: N2: 3.5 bar CDA: 4 bar Vacuum Power: 3 x 400 V +6% - 10 % +N + PE 50 Hz.
KARL SUSS/MICROTEC Falconは、ユーザーがプロトタイプ上でミクロンスケールの構造を作成できる高度なフォトレジスト機器です。この超精密フォトリソグラフィ技術は、0。4マイクロメートルのサイズと50ミクロンの厚さの高解像度機能を生成することができます。MICROTEC Falconの高度なシステムには、高解像度のフォトプリントユニット、パワーコレクタ、加熱サポートステージ、ステージレベリングマシン、マスクアラインツールなどの多くの機能が含まれています。同梱の写真印刷アセットにより、0。4ミクロンまでの高精細な高解像度画像を実現できます。パワーコレクタは、露出と開発レベルがプロセス全体で一貫していることを保証するのに役立つ統合デバイスです。このモデルには、最適な品質パターンを保証し、画像の歪みを最小限に抑える統合された加熱サポートステージも含まれています。さらに、ステージレベリング装置は、ユーザーがサンプル表面全体のマスク要素のアライメントを調整することができます。最後に、マスク整列システムは、マスク要素がサンプル表面全体に正確に整列したままになるようにするのに役立ちます。フォトレジストの機能に加えて、カールサスファルコンは基板上のパターンのエッチングと金属化も可能です。これにより、ガラス、テープ、板金などのさまざまな表面にパターンを転送し、幅広い用途に対応できます。エッチングとメタライゼーションプロセスは、多くの場合、基板上に立体構造を作成するためにリソグラフィと組み合わせて使用されます。ファルコンは、ミクロンスケール構造の精密な作成に最適な高度なフォトリソグラフィーユニットです。高解像度の写真印刷、パワーコレクタ、加熱サポートステージ、ステージレベリングマシン、マスクアラインツールなどの機能により、歪みを最小限に抑えた最適な品質パターンを実現します。その機能はフォトレジストを超えて、さまざまな基板にパターンをエッチングして金属化することができ、幅広い用途に対応しています。
まだレビューはありません