中古 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9211225 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Falconは、高度なダイレクトイメージングおよびウェハコーティングソリューション向けの高性能で柔軟性のあるフォトリソグラフィ装置です。これは、高度なロボティクスを備えたユーザーフレンドリーでモジュラーで高度なプラットフォームで構成されており、正確なアライメント、処理シーケンスのフルオートメーション、および高精度の結果を可能にします。MICROTEC Falconシステムは、最高級の光学系、レーザー、光学系を使用して、実質的に完璧なパターンを25nm以下に生成し、3〜8インチの直径の基板をバッチ処理することができます。業界をリードするフォトレジストコーティングウェーハのレシピは、厳しい基準に基づいており、高いスループット、信頼性の高い生産性、および容易な再現性を提供します。ビームブランキング検出用の高解像度6メガピクセルカメラと、画像処理、ウェーハアライメント、粒子解析を可能にする高解像度ビデオ顕微鏡を搭載しています。自動露出ベイは、0。1〜0。2ミクロン以上の典型的なオーバーレイ均一性を備え、フォトレジストの正確で一貫した露出を可能にします。統合されたOpticronアライメントステージは7軸アライメントマシンを提供し、サンプル計測ツールは非常に正確で信頼性の高いプロセスウィンドウを実現します。Nionマイクロウェーブアクセラレータが上流に配置されているため、プロセスの高度な洗練が不要で、プロセス時間が短縮され、解像度が高くなります。KARL SUSS Falconアセットは、3D機能検出、スマートアーム技術、およびスループットを最適化するウェーハハンドリングシステムの統合オートメーションも備えています。最後に、クリーンルーム環境などの敏感な材料を処理するためのチャンバーが標準に達していることを保証するインターロックは、製造プロセスを効率的かつ制御するのに役立ちます。ファルコンモデルは、業界標準のフォトリソグラフィ用途に最適なステンレススチールプラットフォームと統合されたロボット機器で、高度なフォトリソグラフィを次のレベルに引き上げます。8インチまでのサイズの基板を処理する能力があり、世界的に有名な精度で、要求の厳しいフォトリソグラフィ用途に最適です。