中古 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #293652799 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Falconは、フォトマスクや半導体デバイスの生産に高度な機能を提供するために設計された高性能フォトレジスト（PR）装置です。このシステムには、ドライフィルムのフォトレジスト、スピンオンのフォトレジスト、液体リソグラフィのレジストなど、1つの基板に最大3つの異なるレジストをコーティングすることができる大型の真空フローティングコーティングヘッドが装備されています。サブサーフェスヒーティングユニットは、均一な温度制御と非常に均一なレジストコーティングを提供します。レーザー干渉計と機械の光軸を合わせて高分解能の露光を実現します。検出器の平面は光軸の5ミクロン以内に調節することができます。クローズドループ露光基板ステージコントロールにより、再現性の高いリソグラフィープロセスが保証されます。このツールはまた、高度なリソグラフィに不可欠な複雑なピッチと高いアスペクト比を処理することができます。このアセットは、フォトマスクと基板の同時アライメントを通じて最適なイメージングを提供し、最小限の位置シフトで基板上のパターンの重要なアライメントを可能にします。この機能は、高精度で基板上の構造物の正確な印刷を保証します。MICROTEC Falconは、使いやすいソフトウェアを備えた汎用性の高いモデルです。これにより、単一ステップのリソグラフィー処理が可能になり、実際の露出前にプリイメージングなどの複数のステップが不要になります。この機能により、時間を節約し、生産スループットを向上させます。システムに含まれる最先端のソフトウェアには、マルチレベルのprescan、マルチステップレジスト最適化、高度なマスク補正、適応パターン認識、ステップおよびリピートリソグラフィのセットアップなどの機能が含まれています。単位はまた高度の印刷の条件を扱うことができます。光学グレースケールの生成やバイナリおよび位相シフトマスクのための調整可能なフィルムバックバイアスなどの特別な機能が含まれています。この特徴は異なった適用のための処置の組合せの多種多様を提供します。KARL SUSS Falconは、マスクやデバイスの生産に幅広い機能を提供する高度なフォトレジストマシンです。これは、正確なパターン印刷のための正確かつ反復可能なリソグラフィープロセスを提供し、フォトマスクの種類の広い範囲を公開します。高度なソフトウェアと精密な制御により、このツールは高度な基板処理に最適です。