中古 KARL SUSS / MICROTEC Falcon VS11626 #9114639 を販売中
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ID: 9114639
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Photolithography line system, 8"
(2) Cold plates
(5) Hot plates
(2) WAFERTEC Pumping systems
Robotic arm
Control box
1997 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626は、リソグラフィ用途の製造および加工用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、最大16インチのサイズのウェーハのコーティング、イメージング、開発が可能です。MICROTEC Falcon VS11626は、可変スピード回転を利用し、プログラム可能なアライメントを完全に含み、さまざまなリソグラフィ用途で高品質で再現性のある結果を達成します。このユニットは、空気圧、温度、湿度を最適化する真空密閉チャンバーを使用しており、非常に一貫した処理環境を提供します。このマシンはまた、プロセスの歩留まりと均一性を高めるGlancing Incidence Capabilityと、反復可能なレジストアプリケーションを支援するオンプレート温度制御を提供します。リソグラフィープロセス中に最高の精度を達成するために、このツールには、ハードまたはソフトベーク、開発者、または抵抗材料などの化学物質のアプリケーション用のウェットスプレーヤーも装備されています。さらに、KARL SUSS Falcon VS11626には、x、 y、 z方向にキャリブレーションできるウェーハを配置するための手動アームが装備されています。イメージングに関しては、非常に詳細な画像を迅速かつ一貫して作成することができます。パワフルで反復可能な電動アライメントプロシージャにより、一貫性のある再現性のあるイメージングを提供し、1時間あたり最大510ウェーハを実現します。この電動イメージングは、0.1µm分解能を生成することができるため、高精度です。Falcon VS11626はクリーニングモデルも内蔵しています。本装置は、重要な蒸着（CVD）技術を使用して、ウェーハのコーティング面から粒子を除去します。また、クリーニングバスケットを備えており、ウェーハをシステムの外側と内側の両方で洗浄することができます。全体として、KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626は、高品質で反復可能な結果を生み出すように設計された強力で信頼性の高いフォトレジストユニットです。このマシンは、強力な電動アライメントツールと正確なイメージング機能を備え、最大16インチのサイズのウェーハのコーティング、イメージング、および開発が可能です。さらに、このアセットには、クリーニングモデルとウェーハを配置するための手動アームも内蔵されています。
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