中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta Plus 80T #293595179 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80Tは、研究室のニーズに合わせてカスタマイズされたコンパクトで半自動フォトレジスト装置です。このシステムはマイクロリソグラフィーや関連プロセスに最適で、微細構造やナノ構造を設計するための不可欠なツールとなっています。MICROTEC Delta 80Tには、高度なイメージングや照明光学などの精密部品が搭載されており、最適な性能を提供します。光学クローズドマイクロリソグラフィーチャンバーを搭載し、最大のプロセス制御を実現し、高精度のコンピュータオンモジュールにより、機械全体のすべてのプロセスを信頼性の高い制御を実現します。また、200mmまでの基板を精密に動かす高精度ステージモータを搭載し、シリコン、石英、アルミニウム、ポリイミドなど様々な基板に対応しています。さらに、カールサスデルタ80 Tは、人間のノイズを排除するために環境センサーのフルレンジを組み込んでいます。KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80 Tは、高度なソフトウェアと組み合わせることで、微細構造やナノ構造を設計するための幅広いオプションを提供します。これは、正と負の両方のフォトレジストの処理に使用することができ、その高度なイメージングと事前定義ソフトウェアは、設計から結果へのリソグラフィーパラメータのスムーズな転送を可能にします。このアセットには、露出を制御し、レジストパターンを開発し、処理結果を最適化するためのプロセス監視および制御ソフトウェアも装備されています。さらに、MICROTEC DELTA 80 Tは、任意のサイズの基板に設定できるコリメート、バレル、カスタム形状および反射照明の選択を備えた強力な照明ソースを備えています。パワフルなPC制御真空チャックと基板クランプモデルにより、Delta 80Tは、基板の一貫したアライメントを確保しながら、作業エリア内で基板サイズを保持することができます。さらに、機器のソフトウェアは、以前に定義されたパターンに関してマスクの迅速かつ正確なアライメントを可能にします。全体的に、DELTA 80 Tは、リソグラフィ実験やプロセスのための精密レジスト処理を行うための理想的なシステムです。このユニットは使いやすく、微細構造およびナノ構造を設計するための幅広いオプションを提供し、さまざまな基板に対応するのに十分な汎用性があります。KARL SUSS Delta 80Tの高度な精密部品、プロセス制御および監視ソフトウェア、多目的照明ソースは、多くのラボに最適です。