中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9190377 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2は、光学リソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。ハイエンドのレーザー干渉計ベースの光学フォトリソグラフィーシステムで、最大0。8ミクロンの特長サイズを実現しています。このユニットは、半導体、ディスプレイ、高度なパッケージングからマイクロエレクトロニクスパッケージまで、幅広い用途に高解像度のイメージングツールを適用するように設計されています。イメージングヘッド、自動ステージ、露光プロセスを制御および最適化するための高度なソフトウェアパッケージとハードウェアで構成されています。イメージングヘッドは、ユーザーへのメインインターフェースとして機能し、透過X/Yスキャンステージに光学的に結合された連続波UVレーザーで構成されています。レーザー干渉計ベースのマシンは、マスクまたはウェーハを正確かつ繰り返し数百mm以上の2ミクロン以内に配置することができます。このツールは、イメージングプロセスを最適化するためにステージ位置を動的に調整することもできます。自動化されたステージは高精度の電動ステージで、解像度は0。2ミクロンです。その場での加熱と冷却が可能であり、人間が提供する精度を超えるレベルを提供します。このステージには、光学的に対応したX/Yスキャンステージ用の堅牢で柔軟なドライブ機構が含まれています。MICROTEC Delta 80T2には、露光プロセスを制御し、画質を最適化する高度なソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアには、伝統的なフォトリソグラフィーアプリケーションと高度なフォトリソグラフィーアプリケーションの両方の処方箋が含まれており、幅広い露光パラメータ設定を提供します。さらに、ユーザーは、特殊なプロセスアプリケーションのためのレシピとカスタマイズ可能なレシピの大規模なライブラリにアクセスすることができます。KARL SUSS Delta 80T2は、特定のアプリケーションに応じて、異なる露光レベルと露光時間を処理することができます。アセットの実行中にプロセスパラメータを測定、監視、および測定するための多数のツールを提供します。また、特定のプロセスの結果を分析する目的で、データロギングとレポート作成が可能です。要するに、Delta 80T2は光学リソグラフィ用途向けに設計されたハイエンドモデルです。これは、0。2ミクロンまでの高精度を提供し、伝統的なフォトリソグラフィーアプリケーションと高度なフォトリソグラフィーアプリケーションの両方を実行することができます。信頼できるドライブシステムと高度なソフトウェアパッケージにより、ユーザーはプロセスを最大限に活用できます。