中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9157254 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2は、主にフォトレジスト材料の露出に使用される汎用性の高いフォトレジスト機器です。この露出システムは、ユニットチャンバー、トラック、レジストボックスで構成されています。マシンチャンバーには光学デバイスと光源が装備されています。トラックは、光学ウィンドウ全体に画像を移動するためにツールチャンバーを横断する責任があります。レジストボックスには、フォトレジスト材料にさらされている材料である基板が含まれています。光源は資産の最も重要な部分の一つであり、パターンの操作を可能にします。これは、フォトレジスト素材を使用してパターンを作成し、細かく操作する必要があるため重要です。光源は調節可能であり、発光光の強度を調整するために使用することができ、フォトレジスト材料の種類に応じてさまざまな種類の露出が発生します。また、基板にフォトレジスト素材をコーティングするコーティング装置を採用しています。コーティングプロセスは、基板上に望ましいパターンを作成するために重要です。ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、アセテート、ポリカーボネートなど、さまざまなコーティング材料があります。コーティング材料の選択は、フォトレジスト材料への露出の種類を決定します。機器にはスキャナとコントローラも装備されています。スキャナは基板をスキャンし、さらに操作するために画像をキャプチャする責任があり、コントローラはシステムのパラメータを制御して、イメージングプロセスの精度と再現性を保証します。最後に、このユニットには露出後のベーキングユニットも装備されています。露出したフォトレジスト素材を露出後に焼成する装置です。これは、フォトレジスト材料が基板全体に均一に露出していることを確認するために必要です。ベーキングプロセスはフォトレジスト材料の化学結合を変化させ、基板上のパターンを開発し提供することを可能にします。結論として、MICROTEC Delta 80T2は、フォトレジスト材料を使用してパターンを操作するために使用される汎用性の高いフォトレジストマシンです。このツールには、さまざまな光学デバイス、光源、スキャナ、コントローラ、コーティング材料があり、イメージングプロセスにカスタマイズを提供します。さらに、基板全体に均一な露出を確保するために、露出後のベーキングユニットも備えています。したがって、このモデルは、さまざまなアプリケーションの高解像度パターンを作成するのに最適です。