中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #293590415 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2は、薄膜の正確な平面化、エッチング、イメージングを可能にするフォトレジスト機器です。高密度集積回路（IC）、化合物半導体、MEMS、光学系、マイクロ電気機械（MEMS）デバイスの生産に適した高精度システムです。高解像度カメラ、ストロボライト、CCD検出器を搭載した最先端のモニタリングマシンを搭載し、エッチングや画像処理を正確に制御します。また、1サイクルあたり最大160個のウェーハ、12軸の水平運動アセット、マルチアパーチャ光学モデルを備えた高速ローディングツールも備えています。MICROTEC Delta 80T2は、穏やかなウォームアップサイクルと正確なクラッチエンゲージメントを備えた高出力キセノンランプ、正確なタイミングを備えた高度なレシピコントローラーユニット、自動バックグラウンドシャッター、インサイトフィルム測定、および精密なCD-SEMのためのXY軸微調整を使用します。自動露出制御やCD制御、画像強化制御、臨場感あふれるCD-SEMモニタリングツール、温度制御サンプル処理装置など、幅広い自動プロセス制御機能を備えています。また、ウェットベンチセキュリティスイッチ、包括的なエッチングプルーム制御システムなど、さまざまな安全機能も備えています。KARL SUSS Delta 80T2は、高精度な制御と高精度により、高解像度の画像と高いプロセスコンシステンシーを実現できる汎用性の高いフォトレジストユニットです。優れたエッチング性能により、プロセスのオーバーヘッドコストとウェーハの歩留まり損失を最小限に抑えます。内蔵のフォルト保護システムにより、さまざまな用途に適したナノメートルスケールの機能サイズとピッチ密度を幅広く生成できます。