中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T #293633022 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80Tは、主に微細加工プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。シリコンや金属表面など様々な基板をパターン化できる自動化システムです。このユニットは、基板ホルダー、光源、およびプロセスオートメーション機能を備えた特別なソフトウェアパッケージで構成されています。基板ホルダーは、基板を熱化するように設計されており、手動で介入することなくサンプルの迅速な変更を可能にします。MICROTEC Delta 80Tは、クォーツウィンドウ付きの高出力Xeランプと最適化されたライトフィルターを備えており、サンプル表面の一貫した均一な照度を提供します。これにより、基板表面におけるフォトレジストの均一な分布が保証されます。KARL SUSS DELTA 80 Tには、特定のアプリケーションに最適な露光時間を自動選択できるプロセスオートメーションソフトウェアが装備されています。自動化されたタイマーにより、正確かつ再現可能な露出時間を確保し、一貫性のある結果を得ることができます。このツールは、光軸に沿ってさまざまな位置を選択できる自動フォーカス制御と、異なるレジスト製剤間の迅速な切り替えを可能にするプログラム可能な反射防止コーティング（ARC）アセットも備えています。MICROTEC DELTA 80 Tには、コンピュータ制御のスピナーも付属しており、フォトレジストをサンプルから自動的に取り外すことができます。KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80 Tは、さまざまな産業および科学的用途に適した信頼性の高いモデルです。薄膜トランジスタ（TFT）などの集積回路のフォトリソグラフィ加工に使用できます。フォトレジスト装置は非常に再現性が高く、一貫した結果を提供するため、研究やプロトタイピングに最適なツールです。さらに、このシステムは、シリコン、石英、金属表面などのさまざまな材料と互換性があります。最後に、KARL SUSS Delta 80Tは可視および紫外スペクトルで動作し、解像度の向上とコントラストの増加を可能にします。