中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC #293807051 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RCは、微細加工プロセスで正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されたフォトレジスト機器です。半導体写真の成膜、エッチング、パターニングなどの操作が可能です。自動化されたユニットとコンピューター制御のウェーハユニット、およびウェーハカセットで構成されています。MICROTEC Delta 80RCは、乾燥またはウェットレジストコーティング用途に使用できます。自動化されたユニットは、レジストコーティングされたフォトレジストの露出を行うように設計されたレーザー露出機と統合されています。このユニットには、正確な露出結果を確保するための電源と温度コントローラも装備されています。さらに、このツールはオートストップメカニズムを備えており、過剰露出を防ぎ、フォトレジスト上のマイクロコンポーネントへの潜在的な損傷を最小限に抑えます。ウエハカセットは最大250個のウエハを収納でき、簡単に交換できます。カセットは、衝撃や物理的衝撃などの環境条件からウェーハを保護するためにも設計されています。さらに、KARL SUSS Delta 80RCは、高解像度および複数の露光プロセスをサポートします。解像度は最大2ミクロンで、複数の露出処理を行うことで、表面全体の層の移動を可能にし、フォトレジストは複雑な構造の断熱材として機能します。また、このアセットは高い再現性と信頼性を備えており、処理能力は最大250ウェーハ毎時であり、欠陥率は低いです。Delta 80RCは半導体産業の微細加工および他の適用のための理想的な選択です。レジストコーティング、露出、パターニング操作を正確かつ正確に実行できるため、ユーザーは最小限の時間と労力で高品質の結果を達成できます。このモデルの自動化機能と、再現性と信頼性の高い結果を提供する機能により、マイクロファブリケーションプロセスにおける強力なツールとなります。