中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC #293768237 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RCフォトレジスト装置は、材料の基板への精密エッチングと成膜を可能にします。このユニットは、包括的なソフトウェア制御システムを備えたフル機能の統合プラットフォームで構成されており、ユーザーは製造プロセス全体を完全に制御できます。スパッタリングチャンバーを備え、金属、シリコン、その他の材料などの基板に膜を堆積させます。スパッタリングチャンバーには空気圧シャッターがあり、材料が機械に入らないようにすることができ、ユーザーは蒸着プロセス全体を制御し続けることができます。MICROTEC Delta 80RCには、高いアスペクト比と深いエッチング構造の製造に最適なウェットエッチングチャンバーがあります。このチャンバーは、圧力制御された反応チャンバーを備えており、ユーザーが反応プロセスを正確に制御し、最適な結果を保証します。80RCのフォトリソグラフィーアームは、基板上にフォトリシスタント材料を堆積させるために使用され、続いて375nm UVレーザーを使用して材料のタイトラインパターン定義が行われます。これにより、優れたマスクアライメント精度で高解像度のファインラインパターンを作成できます。KARL SUSS Delta 80RCには、加熱セラミック基板ホルダーがあり、プロセス全体の温度を均一にするために使用できます。また、基板上のフォトレジスト層の露出のための正確かつ正確なアライメントをユーザーに提供するために、X-Y-Zモーションを備えた機械的ステージを備えています。Delta 80RCには、ツール全体を簡単に使用できるマイクロプロセッサ制御の操作タッチスクリーンが付属しています。80RCには、製造プロセス中の結果とプロトコルを文書化するための高度なデータ収集ソフトウェアパッケージも含まれています。全体として、KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RCフォトレジスト資産は、基板上のさまざまな材料の精密エッチング、成膜、およびリソグラフィのための高度で統合されたプラットフォームです。このモデルの統合プラットフォームと制御システムにより、ユーザーはプロセスを完全に制御し、最適な結果を保証することができます。