中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC T #293586445 を販売中
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ID: 293586445
ヴィンテージ: 2008
Coater system, 8"
Substrates size: 4" x 4"
(3) Objectives
CCD
Spinner module
Stainless steel cabinet
Gyrset cover coating
Operator panel with display
Polypropylene bowl
Full sensor waste bottle
Acceleration: 1 up to 5 rpm/s
Spinning Time: 0.1 up to 999s
Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz
2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC Tは、主にサブミクロンからマクロスケールイメージングアプリケーション向けに設計された自動フォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、主にマイクロエレクトロニクスや半導体産業で回路やチップの製造に使用されています。MICROTEC Delta 80RC Tは、マスク製造の従来のアナログ方式に代わる信頼性と便利な代替手段として世界中のお客様に使用されている堅牢なシステムです。複雑なパターンやデザインをさまざまなデバイスで簡単に複製できる柔軟な機能を備えた高解像度の画像を作成できます。KARL SUSS Delta 80RC Tには、水晶ハロゲン光源、コンピュータ操作イメージングユニット、ステージコントロールユニットからなるコンピュータ制御プラットフォームがあります。プラットフォームは、ユーザーの好みに応じて、垂直または水平のいずれかの構成で構成することができます。また、Delta 80RC Tは、MICROTECファミリーのイメージライティングマシンレンズからの幅広いイメージングオプティクスを取り付けることができます。KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC Tは高度に自動化され、プログラミング可能で、カスタムイメージングプログラミングを使用できます。用具は温度、真空および加速のような他の変数に加えて線量および焼くことを含むサンプルの露出を、制御できます。MICROTEC Delta 80RC Tには、緊急シャットオフ、低レベルおよび高レベルのアラーム、熱やその他の不規則性が発生した場合の自動シャットダウンなど、さまざまな安全機能があります。KARL SUSS Delta 80RC Tは、精密パターニング用途向けに特別に設計されており、信頼性と再現性の高い結果を達成する効果的かつ効率的な方法を提供します。その高解像度と広い視野は、1µmレベルまでの特徴の正確な配置を可能にし、その高コントラストと均一性は正確な結果を提供します。Delta 80RC Tは、信頼性が高く、正確で、高度に自動化されたフォトレジスタセットを必要とする人にとって理想的な選択肢です。使いやすさ、高速なプロセスサイクル、堅牢なエンジニアリングで有名であり、その柔軟性により、優れた結果を持つ複雑なパターンの生産が可能になります。初期コストが高いにもかかわらず、KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC Tは、機能あたりのコストを削減し、ウェーハあたりのプロセス・コストを削減することで、長期的なコスト削減を実現します。
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