中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #9271444 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80フォトレジスト装置は、主に半導体デバイス製造に使用されるリソグラフィ装置です。ウエハーの表面に紫外線を利用してパターンを生成します。MICROTEC Delta 80は、ウェーハ上の画像の精度アライメントを備えた高精度の光学システムを備えています。コンピュータコントローラのMicro-Controlcenterにより、露光量、基板温度、リソグラフィ工程全体の冷却速度などのパラメータを高度に制御できます。KARL SUSS Delta 80には、UV/可視光源、照明ユニット、複数のマスクを搭載するためのマスクテーブルが装備されています。パターンを含むマスクは、真空密封された環境でウェーハの上に保持されます。光源はマスクパターンを紫外線にさらし、ウェーハに刻印します。照明装置は、ウェーハにパターンを正確に刻印するために必要な光強度と波長を生成します。Delta 80フォトレジストツールは、1時間あたり最大30ウェーハの露出速度で、非常に効率的です。さらに、自動化された温度制御を備えているため、プロセス全体で一貫した温度でウェーハを保持できます。KARL SUSS/MICROTEC Delta 80は、プロセス中に各ウェハの露光量を正確に監視および調整することもできます。これにより、すべてのウェーハが同じレベルの露出を受けることができます。フォトレジストアセットには、高度なイメージングモデルも装備されています。この装置は、ウェーハの基盤表面の変化を検出、識別、および調整することができます。イメージングシステムを使用して、ウェーハの欠陥や欠陥を特定し、露出プロセスを調整してこれらの影響を最小限に抑えることもできます。MICROTEC Delta 80フォトレジストシステムには、高度なレジストケミストリーも装備されています。これらの化学物質はアプリケーションに合わせてカスタマイズすることができ、その性能、効率、精度を向上させます。さらに、トランスポートマシンと顕微鏡を内蔵しており、リソグラフィ工程での正確な観察とトラブルシューティングが可能です。全体として、KARL SUSS Delta 80フォトレジストツールは、半導体デバイスの製造に使用される信頼性の高い効率的な機械です。高精度のイメージングアセット、高度なレジストケミストリー、自動化された温度制御を備えており、一貫性のある正確な露出を保証します。これらの機能により、半導体デバイスの製造に最適です。