中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293651532 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80は、高強度紫外線露光（UV）を使用して複数の材料にフォトパターンのレジスト層を生成する高性能フォトレジスト露光装置です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、石英などの堅牢な基板材料の高分解能、高アスペクト比のマイクロ機能の製造に適しています。MICROTEC Delta 80は、精密Z軸ステージ、ガントリー、露出アセンブリ、および高輝度キセノンランプで構成されています。このユニットは、大口径から伝統的な光学近接露光まで、幅広い露光セクションに対応するように設計されています。それはまた機械にいろいろ抵抗の処理モジュールを統合する機能を提供します。KARL SUSS Delta 80ツールは、XY軸露光、プログラム可能な露光時間、ファインフォーカスコントロールなど、さまざまな汎用性の高いオプションも提供します。これにより、複雑なパターンジオメトリを定義し、フィーチャーの歪みを最小限に抑えて高解像度の露出を行うことができます。このアセットには、基板の処理と露出の均一性を最適化するための高度なウエハハンドリングメカニズムも含まれています。このモデルの広範な露出制御は、柔軟な露出後処理にも対応しています。その露出アセンブリは、1つの露出計画から別の露出計画にすばやく変更することができ、高速スイッピング露出ヘッドを備えています。さらに、機器を高度なウエハートラッカーに統合して、自動アライメントと露出を行うことができ、新しい設計の迅速なプロトタイピングを可能にします。Delta 80は、露出パターンや機能において高い精度を提供するために、高精度の光学近接補正（OPC）とオーバーレイ最適化機能も備えています。レーザー変調とデジタル信号プロセッサ（DSP）の応用の組み合わせにより、基板の地形や露出パターンのさまざまな形状を補正することができます。これらの機能を組み合わせることで、高精度で特徴歪みを最小限に抑えた様々な素材に高解像度のフォトレジストパターンを生成することができます。MICROTEC Delta 80は、高速露出速度、適応可能な露出アセンブリ、OPC機能を備え、プロトタイピングおよび商業生産アプリケーションに最適なユニットです。