中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293585694 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80は、フォトレジスト加工用に設計されたフォトレジスト装置です。プログラマブルで信頼性の高い堅牢なプラットフォームを使用しており、非常に正確で再現性の高い結果をサポートしています。主にマイクロエレクトロニクスおよびナノエレクトロニクス産業で使用されています。MICROTEC Delta 80は、ステンレス製の真空チャンバーに搭載された豊富な機能を備えた制御システムです。これにより、露光角度、露光時間、強度などのフォトレジストの露光パラメータを正確に制御できます。また、異なる基板とステージ間のレジスト層の超高マッチングにも対応しています。このユニットは、高品質の表面仕上げを提供し、フォトレジスト加工との互換性を確保するための均一性を備えています。真空チャンバーは、高圧PPTコーティング技術を使用して、プレコートを排除するプラズマ洗浄および接着性を向上させます。KARL SUSS Delta 80は、個々のニーズに合わせた柔軟な構成を可能にするモジュラー設計を備えています。このマシンは、スピンコーティング技術やハードベークモジュールなどの追加モジュールでアップグレードでき、カスタマイズが可能です。このツールは、抵抗から銅まで、複数の材料をサポートしています。単層から多層エッチング技術まで。それにウエハの厚さが300 umまでの0。03 umの反復可能な正確さがあります；そしてウエハサイズが150までのmmの0。001 nmの反復可能な層の厚さ。また、光学プリント、コーティング開発プロセス、プラズマ処理など、複数のプロセス手順を1回の実行でサポートできます。デルタ80は、前例のないレベルの均一性と使いやすい、簡単な制御を提供します。また、最も幅広いアプリケーション・プロファイルを備えており、最高の品質と精度でフォトレジスト処理に最適な選択肢を提供します。これは、高品質の低コストのプロセスのための再現性のあるプロセス制御と優れた精度を保証します。