中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #9298295 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36Tは、MEMSの開発および製造に使用するために特別に設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、シリコンやガラスなどの基材にパターンを作成するために微細加工に使用されます。このプロセスは、基板上にパターンを作成するために感光性高分子材料を光にさらすことを含みます。MICROTECデルタ36Tフォトレジストシステムは、露光ユニット、超清浄フォトレジストハンドリングステーション、後処理機、基材を保持するプラットフォームの4つの重要なコンポーネントで構成されています。KARL SUSS Delta 36T露出ツールは、36エアロゾルのJetHeadsを搭載し、UV露出の線量を正確に制御する囲まれたプラットフォームです。この高精度なトップダウン照射により、基板とJetHeadsを整列させ、均一な照明を実現します。各JetHeadは個別に調整可能で、アセットには洗浄用の統合された自動洗浄モデルが含まれています。フォトレジスト素材の保存やパターンの品質向上には、機器の清潔さが欠かせません。デルタ36T超清浄フォトレジストハンドリングステーションは、システムの重要な部分であり、フォトレジスト材料が基板の積み下ろし時に汚染されないようにします。ステーションは、微粒子や化学物質の汚染を最小限に抑え、ユニットの清潔さを維持するように設計されています。後処理機は、照射が完了した後に使用され、熱アニーリングと湿式または乾式のいずれかの開発プロセスで構成されています。この制御環境を提供することにより、KARL SUSS/MICROTEC Delta 36Tは、作成されたパターンが一貫しており、信頼性が高いことを保証します。MICROTEC Delta 36Tフォトレジストツールは、多くの種類のMEMS基板で信頼性と再現性を証明した汎用性の高い信頼性の高いツールです。汎用性が高く正確なこのアセットは、あらゆるMEMSアプリケーションや研究に最適なツールです。高解像度のイメージングと安全でクリーンな環境を備えているため、微細加工デバイスやコンポーネントのパターン作成に最適です。