中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #107379 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36Tは、基板上の高分解能サブミクロン構造を生成するために使用されるフォトレジスト装置です。このシステムは、複数の露光機能を備えており、半導体マイクロチップ上の非常に複雑なパターンを生成することができます。MICROTEC Delta 36Tは、基板全体の光の均一性を向上させ、幅広いフォトレジスト材料で動作するための高度な光学ユニットを備えています。KARL SUSS Delta 36Tは、高度な投影光学機械を使用して、優れたリソグラフィ精度を提供し、正確で高い歩留まり生産を可能にします。このツールは、0。75の数値絞りを持つカールゼイスf-シータレンズを採用しており、0。2 µmまでの高解像度を提供します。さらに、Delta 36Tは1サイクルで最大4つの露出をサポートするように設計されており、高アスペクト比と優れた焦点輪郭の深さを可能にします。KARL SUSS/MICROTEC Delta 36Tは、基板と基板上のパターンの簡単なアライメントを可能にする強力で直感的なソフトウェアパッケージを備えています。ソフトウェアの"Step&Repeat"機能は、複数の基板上に複数の一貫した画像を生成することができ"、Auto Align'機能はオーバーレイ精度を向上させるために微調整を行います。MICROTEC Delta 36Tは、グレースケール画像だけでなく、バイナリ画像も生成することができます。イメージング精度と均一性に関しては、KARL SUSS Delta 36Tが優れています。ImageMASSterインテリジェント測定ソフトウェアを搭載しており、イメージング精度を保証し、高解像度エンコーダを追加して運転精度を向上させます。この資産には、精密レシピ管理のためのプログラム可能な制御プロセスパラメータも装備されており、使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを備えており、利便性と効率性を高めています。安全性に関しては、Delta 36Tには、光学系をほこりや粒子から保護する多数のダストシールドと真空シールドが装備されており、両方ともリソグラフィ出力に影響を与えます。このモデルには、基板平面内の物体の存在を検出する高度な近接視覚装置も装備されており、高いレベルのオペレータの安全性を確保しています。結論として、KARL SUSS/MICROTEC Delta 36Tフォトレジストシステムは、優れた設計と高効率のユニットであり、印象的なリソグラフィ精度で高解像度のサブミクロンパターンを生成することができます。このマシンは、優れた照明と強力で直感的なソフトウェアスイートを提供し、反復可能で効率的な結果を保証します。さらに、MICROTEC Delta 36Tは、光学機器やオペレータを保護するための重要な安全機能を提供します。