中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9296246 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPOは、高度な半導体材料のイメージングとパターニング用に設計されたフォトレジスト機器です。MICROTEC Delta 20T2/150VPOは、半導体デバイスの製造のための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供する包括的なコンセプトフォトレジストシステムです。このユニットは、フォトリソグラフィーツール（Delta 20T）、レジストコーター、開発者、露出後ベーク（PEB）ユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。Delta 20Tフォトリソグラフィーツールは、直接書かれたサブミクロンのリソグラフィーイメージング用に設計されたステップおよびリピートマシンです。紫外線（UV）光源と高精度の光学系を使用して、基板に画像を投影します。さらに、Delta 20Tは、ウェハスクライブ、計測、その他の特殊アプリケーションなどのアプリケーションにも設定できます。このツールは、300 mmのテーブルと150 mmの垂直移動範囲を備えています。付属のレジストコーターは、レジスト材料を基板に精密に適用するために設計された自動コーティング工具です。リニアムーブメントアセットを使用して、均一かつ正確にレジストを材料に適用します。開発者は、露出処理後にレジストを除去するために使用されるスピンベースのメカニズムです。これは遠心力を使用してレジストを攪拌するため、化学開発者のソリューションが露出したレジスト材料を溶解しやすくなります。最後に、PEBオーブンは、露出して開発した後にウェーハを熱処理するために使用される特殊ユニットです。加熱素子を使用して、ウェーハの温度をレジスト開発に最適な範囲に引き上げます。コンポーネントとは別に、KARL SUSS DELTA 20T2/ 150VPOは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）をユーザーに提供します。このインターフェイスは、ユーザーがさまざまなプロセスのモデルを設定し、機器のパフォーマンスを分析するためのレポートを生成するためのプログラミングタスクを実行するのに役立つように設計されています。DELTA 20T2/ 150VPOフォトレジストシステムは、高精度ウエハーのイメージングとパターン作成のための包括的なソリューションを提供します。効率的なワークフロー、優れた画質、直感的なGUIにより、高度な半導体コンポーネントを製造するための信頼できる選択肢です。