中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9124419 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPOは、半導体基板の高解像度、正確なパターニング用に設計された高度なフォトリソグラフィ/フォトレジスト装置です。このシステムは、0。3ミクロンまでの複数のオーバーレイおよびアライメント精度、および半導体ウェーハのコスト効率に優れたパターニングのための高スループット生産および製品寿命の延長などの高度な機能のために設計されています。5〜8インチ基板に対応可能な高安定性ウエハステージを内蔵し、最高速度は3cm/secです。ステージは、空気強化レールに取り付けられ、正確で信頼性の高い基板の動きを保証するために軽量のトラベルアセンブリによってサポートされています。マルチチャンネルマイクロプロセッサコントローラは、ステージを独立して監視し、サブミクロン精度でウェーハの位置を制御します。また、可変照明光学系とMicroStepperモーター付きプロジェクションツールを搭載し、高解像度パターンを基板に正確に投影します。アセットは、正のフォトレジストまたは負のフォトレジストを露出させるように構成することができ、高忠実度の光学系は、4分の1ミクロン以下のアスペクト比と解像度の高いパターンを生成することができます。さらに、ミクロテックデルタ20T2/150VPOは、より厚い基板でも最高の分解能パターンを確保するために、数値符号化されたオートフォーカス機能を備えています。オートフォーカスアルゴリズムは、0。1ミクロン未満のステップサイズで、高精度で反復可能なフォーカスコンディショニングも提供します。これにより、露出時間を短縮し、電力を節約し、スループットを向上させます。このモデルは、ディープUVやソフトUV光源などのさまざまなフォトリソグラフィーおよびクリーンアップツール、および欠陥を検出および報告するためのウェハエッジ検査装置を提供します。さらに、システムには、迅速かつ遮断されていない基板のローディングとアンロードのためのロードロックが装備されています。KARL SUSS DELTA 20T2/ 150VPOは、フォトリソグラフィとフォトレジスト技術を使用して、半導体基板に高品質で精密なパターンを生成する先進的なユニットです。その特徴と機能の印象的な範囲だけでなく、その費用対効果は、半導体の製造と研究のための理想的なソリューションになります。