中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T #9139667 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T
ID: 9139667
ウェーハサイズ: 6"
Manual coat spinner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC Delta 20Tは、従来のバッチ処理と高度なウェハレベルのパッケージングアプリケーションの両方に最適化された高解像度マスキングソリューションを提供するフォトレジスト機器です。MICROTEC Delta 20Tは、ユーザーが任意のサンプルの特徴を配置する際にマイクロメートルの精度を達成することができ、複数の高度なプロセス技術を組み込みます。超音波ブレードポジショニングメカニズムを備えたACサーボステッピングモータとスムーズなベルトトランスポートを備えています。フォトレジスト素材を高精度に露出させることができます。このユニットはまた、材料コーティングの優れた均一性を提供します。ウェーハは、フロントパネルのユーザーインターフェイスを介して迅速かつ簡単にロードおよびアンロードされます。KARL SUSS Delta 20Tの高解像度画像投影機は、ウェーハ表面全体にわたって優れた均一性カバレッジを提供します。これは、精密なレンズ校正ツールと高解像度の光学イメージング投影技術によって可能になります。また、Delta 20Tでは、さまざまなフォトプロットの正確な補正と最適化を可能にし、薄型ウェーハやITO基板などの困難な基板を正確に処理することができます。KARL SUSS/MICROTEC Delta 20Tは、± 1マイクロメートルの位置決め精度も備えています。これにより、マスキングパターンが偏差なくウェーハ表面に正しく配置されます。さらに、このアセットは、高度なスパッタリングチャンバーも備えています。このチャンバーは、高解像度の薄膜パターンを生成するために必要なプラズマ強化化学蒸着(PECVD)プロセスを完了させることができます。MICROTEC Delta 20Tは最先端のフォトレジストモデルで、最短時間で最先端のマイクロストラクチャーを製造するための最先端のプロセス技術をユーザーに提供します。ユーザーが生産歩留まりを最適化し、製造コストを削減できるように設計されています。
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