中古 KARL SUSS / MICROTEC Delta 12 #293759851 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC Delta 12は、様々な基材にフォトレジストを低価格で高品質な成膜するための革新的なソリューションを提供するために設計されたフォトレジスト機器です。MICROTEC Delta 12は、画期的な光露光技術を搭載し、高解像度で一貫した反復可能なパターニングプロセスと分析機能を提供します。6インチから12インチまでのウェーハ径と最大6つのプロセスチャンバーの容量を提供するこのシステムは、研究開発（R&D）と生産のための優れた選択肢です。高度な自動化プロセス制御を備えたKARL SUSS Delta 12は、開発者が手動でリソグラフィープロセスを設定するためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供します。正確で信頼性の高いパターニングを実現するために、このユニットは高精度のダイレクトドライブリニアモータによって駆動されます。さらに、業界標準のPECVDモジュールと最先端のメンテナンスされたコータートラックが付属しているため、ユーザーは膜厚を制御して均質性に耐えることができます。デルタ12はまた、外部からの影響から隔離された最先端のプロセスチャンバーを備えています。この機能は、ユーザーが正確な露光を行うための温度制御環境を提供し、蒸着温度の変動を防ぎます。また、ユーザーが高解像度の微細加工を行うことができるように、高度な光化学技術と光化学技術を使用しています。その他の機能としては、可変深度ポリマーエッチング、内部構造用の化学フライス加工、および可変パワーセンシングなどがあります。正確な位置決め機能により、ユーザーは目的のフィールドサイズを選択し、パターンの歪みを低減できます。KARL SUSS/MICROTEC Delta 12ツールには、高速露光や勾配露光プロセスなどの高度な機能も搭載されています。この機能により、複雑な形状でもウェーハ全体に均一なフォトレジストパターンを作成できます。さらに、このアセットは、困難なパターンでも非常に高いプロセス精度と再現性を提供します。全体として、MICROTEC Delta 12フォトレジストモデルは、高度な機能を備えた信頼性の高い高精度フォトリソグラフィープロセスです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと幅広いデータ収集機能により、研究開発と生産に最適です。この装置は、品質の堆積、正確なパターニング、および信頼性の高いレジスト均質性のための完全なソリューションを提供します。