中古 KARL SUSS / MICROTEC CL200 #293649726 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC CL200は、マイクロエレクトロニクスデバイスの信頼性と精度の高いリソグラフィを提供するフォトレジスト機器です。フォトレジストは、基板表面にパターン形成マスクを作成するために使用することができる光感受性材料です。MICROTEC CL200は、フルフィールドプロジェクションシステムであり、フォトレジスト被覆面にあらかじめ定義されたパターンのイメージを作成するための専門光学ユニットと同様に、アライメントされた投影光源を採用しています。このマシンには、効率的な操作のための高度でユーザーフレンドリーな制御ツールも含まれています。KARL SUSS CL200は、200mmのフィールドサイズを備えており、大型基板の製造に便利です。この資産は非常に効率的であり、迅速かつ正確なアライメントと露出を可能にします。さらに、12軸ロボットモデルと高度なソフトウェアを搭載し、機器内のさまざまな要素の自動配置を可能にします。また、アライメント手順、フル電動ウェハステージ、独立した基板処理、レーザーベースの位置検出ユニットなど、幅広いユーザーフレンドリーな機能を備えています。さらに、露出フィールドサイズを微調整するための絞りブレンド機能を備えており、高い均一なパターン品質を実現しています。このツールの他の機能には、自動位置検出用の統合GPSアセット、校正ユニット、PIDコントローラによるクローズドループ温度制御などがあります。CL200は高精度および正確な制御を要求する適用にとって理想的です。マイクロエレクトロニクスデバイスなどの部品の製造や製造に使用でき、基板上に微細なパターンを作成することができるため、研究開発に最適です。KARL SUSS/MICROTEC CL200は、デバイスの少量生産にも適しており、高品質のフォトレジストパターンを作成するための信頼性と費用対効果の高いツールです。