中古 KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #9210358 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray
ID: 9210358
ウェーハサイズ: 8"
Spray coater, 8".
KARL SUSS/MICROTEC AltaSprayは、基板上にフォトレジスト樹脂の薄い正確な層を堆積することを可能にする高度なフォトレジスト装置です。これにより、フォトリソグラフィ技術を使用する際のコーティングの均一性と信頼性の高い結果が保証されます。MICROTEC AltaSprayシステムは、最大8 x 10インチの面積のフォトレジスト塗装厚を優れた制御を可能にする高性能スプレーガンを備えています。KARL SUSS ALTA SPRAYは、さまざまなフォトレジスト要件のための正確で調整可能なパラメータを提供します。これには、スプレー距離、スプレー速度、圧力、霧化の制御が含まれます。さらに、フルフィールド管理、パッチモード、ローカルコーティングなどの複数のコーティングモードにも対応しています。これらの特長により、異種基板表面へのコーティング厚の制御、マルチノズルシステムにおける各ノズルの独立制御、ラッカーガラス技術の実装などの高度な機能が可能になります。KARL SUSS/MICROTEC ALTA SPRAYは、さまざまな基板やフォトレジストをサポートしています。適切なフォトレジストは、正と負のフォトレジスト、解像度、およびその他の要件などの目的の特性に応じて選択できます。調整されたプロセスは、フォトリソグラフィーのプロセスから望ましい性能を可能にし、再現可能な結果の鍵です。さらに、KARL SUSS AltaSprayには、フォトリソグラフィープロセスを完了するための後処理およびクリーニングオプションが含まれています。マシンは、単一のプログラムの一部としてスプレーサイクルとクリーニングサイクル操作の完全なインストールをサポートしています。それはまた改善されたクリーニング機能のための超音波ノズルを特色にします。自動的に監視されたコンポーネントと効率的に交換できるスペアパーツのおかげで、ツールの長期メンテナンスも改善されます。結論として、ALTA SPRAYは、ユーザーがさまざまな基板上のフォトレジストの正確で一貫した層を堆積することを可能にする高度なフォトレジスト資産です。それは調節可能な変数を提供し、複数のコーティングモードを支えます。さらに、処理後のサイクルとクリーニングオプションを可能にし、生産スループットを向上させます。このようにして、AltaSprayは、フォトリソグラフィ技術を使用する際に信頼性の高い結果と生産量の増加を保証するのに役立ちます。
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