中古 KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #293745313 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC AltaSprayは、リソグラフィにおける幅広い用途向けの先進的なフォトレジスト機器です。感光性高分子やゲルなどの薄膜材料を高分解能フォトレジスト噴霧するシステムです。ロボットスプレーヘッドを備え、正確なアライメントと層の厚さを確保します。さらに、精密なZ軸ムーブメントは、基板表面の均一な濡れのための反復可能で制御可能な層の厚さを提供します。MICROTEC AltaSprayは、20nm以下から500nm以上の厚さ、およびウェーハ径から12インチまでの非常に薄いフォトレジスト層の開発を可能にします。また、高分解能ノズルジェットを採用しており、基板への精密な材料蒸着に優れた動作安定性を発揮します。また、幅広い材料粘度に対応することができます。カールサスアルタスプレーは、正確で信頼性の高いレイヤー成膜を実現するため、ウエハハンドリングツールを採用しています。これには、基板に正確に供給するウェーハグリッパと、フロー、圧力、沈着速度などのパラメータを監視および調整するプロセス制御モジュールが含まれます。これにより、フォトレジスト材料を基板に正確かつ均一に堆積させることができます。ALTA SPRAYアセットには、サイクルタイム監視モデルも装備されており、異なるフォトレジストプロセスを介して機器のサイクルとして最大30の異なるパラメータを監視することができます。これにより、リアルタイムサイクルタイムの最適化が可能になり、生産効率が向上します。さらに、システムは新しいソフトウェアとハードウェアオプションで簡単にアップグレードでき、ユーザーはユニットを特定の生産ニーズに合わせて調整することができます。KARL SUSS/MICROTEC ALTA SPRAYマシンは、ユーザーにさまざまな利点を提供するように設計されています。フォトレジスト素材の薄層を基板に正確に適用することで、他の方法よりも高い再現性を持つ高解像度画像を実現できます。さらに、自動化されたサイクルタイムモニタリングツールは、生産の効率と精度を向上させるのに役立ちます。全体として、KARL SUSS AltaSprayアセットは、特定の生産ニーズの範囲を満たすように設計された、高度で信頼性の高いフォトレジスト噴霧モデルです。