中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9384559 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300は、マイクロエレクトロニクス部品の精密加工用フォトレジスト装置です。マルチエクスポージャーとアライメント機能を活用して、信頼性の高い小型フィーチャーサイズのパターン転送を実現します。このシステムは、マイクロステッピングマイクロプロセッサ制御のXY基板ステージ、精密X-Y-Zステージ、および自動露出/開発ユニットの3つのコンポーネントで構成されています。基板ステージは、正確なフィーチャー配置のための柔軟な移動増分と速度設定を提供します。一方、エコノミーX -Y -Zステージは、クリティカルアライメントに必要な信頼性の高い光の浸透を可能にします。MICROTEC ACS 300は、30µm以上の小さな構造をパターン化するために、統合されたデジタルビジョンカメラマシンを使用したサブミクロンのアライメント機能を備えています。KARL SUSS ACS 300はまた、基板の金属化のためのモジュラーツールを提供します。メタライゼーションモジュールの高精度リフトメカニズムにより、テクスチャサーフェス上に基板を小規模に配置し、シートを保護することができます。このモジュールには、自動マイクロマスク積載資産、化学蒸気供給モデル、赤外線加熱装置も組み込まれています。このシステムは、コーティングおよびエッチング処理にも使用できます。金属酸化物エッチングは、エッチング露光時間の調整が可能な設定で処理されます。同様に、自動プログラマブルオプションを使用して、幅広いコーティングプロセスとプリコンディションを設定できます。ACS 300は、再現性とプロセス制御を容易にするように設計されています。統合されたマイクロプロセッサコントロールは、校正および検証モジュール、およびユニットのメンテナンスレコードへのアクセスを提供します。同様に、リアルタイムのプロセス制御技術は、一貫したプロセス結果を維持するのに役立ちます。KARL SUSS/MICROTEC ACS 300は、高度な自動フォトレジストマシンです。それは信頼できる、小さい特徴サイズのパターン移動およびコーティング/エッチング機能を提供します。統合されたマイクロプロセッサコントロールは、信頼性の高いプロセス制御および監視機能を提供し、校正および検証モジュールは自動機能測定および追跡機能を提供します。